特許
J-GLOBAL ID：200903058822517939
バンプ形成方法及びバンプ形成装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-139049
公開番号（公開出願番号）：特開平8-335771
出願日： 1995年06月06日
公開日（公表日）： 1996年12月17日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】はんだボールを用いて電子回路基板上にはんだバンプを形成するはんだバンプ形成方法において、はんだボールにフラックスを供給する際にはんだボールを吸着している吸着ヘッドへのフラックスの濡れ上がりによる汚染を防ぐ。【構成】吸着ヘッド4に吸着されたはんだボール1にフラックスを供給するに際し、フラックスに流動抵抗を与える抵抗板16を、フラックス供給部に配置する。
請求項（抜粋）：
複数個のはんだボールを吸着ヘッドにより吸着・整列し、この吸着ヘッドに吸着・整列された複数個のはんだボールをフラックス等の固定液に浸漬し、しかる後このはんだボールを基板上に転写搭載し、はんだボールが転写搭載された基板をリフローすることによって基板上にバンプを形成するようになしたバンプ形成方法において、上記はんだボールの固定液への浸漬工程は、固定液に流動抵抗を与える抵抗板をその固定液表面近傍に備えた固定液供給装置への浸漬工程からなり、上記吸着ヘッドへの固定液の付着を抑止するように構成したことを特徴とするバンプ形成方法。
IPC (2件)：
H05K 3/34 505
, H01L 21/321
H05K 3/34 505 A
, H01L 21/92 604 H
