特許
J-GLOBAL ID:200903058835245016
液体吐出ヘッドの製造方法及び画像形成装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
松浦 憲三
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-257800
公開番号(公開出願番号):特開2008-074020
出願日: 2006年09月22日
公開日(公表日): 2008年04月03日
要約:
【課題】圧電素子や圧力室を高精度に形成する。【解決手段】少なくとも2層から成る基板の第1層106に対して第2層104を底面とする溝部118を環状に形成する工程と、前記溝部に保護膜を形成する工程と、前記溝部が開口する面に振動板64を形成する工程と、前記振動板上に圧電素子58を形成する工程と、前記振動板に開口部54を形成して前記第1層の前記溝部で囲まれた領域の一部を露出させる工程と、前記第2層をエッチングストップ層として前記開口部から前記第1層をエッチングして圧力室52を形成する工程と、を含む。【選択図】図5
請求項(抜粋):
少なくとも2層から成る基板の第1層に対して第2層を底面とする溝部を環状に形成する工程と、
前記溝部に保護膜を形成する工程と、
前記溝部が開口する面に振動板を形成する工程と、
前記振動板上に圧電素子を形成する工程と、
前記振動板に開口部を形成して前記第1層の前記溝部で囲まれた領域の一部を露出させる工程と、
前記第2層をエッチングストップ層として前記開口部から前記第1層をエッチングして圧力室を形成する工程と、
を含むことを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
IPC (3件):
B41J 2/16
, B41J 2/045
, B41J 2/055
FI (2件):
B41J3/04 103H
, B41J3/04 103A
Fターム (9件):
2C057AF23
, 2C057AF52
, 2C057AF93
, 2C057AP02
, 2C057AP32
, 2C057AP51
, 2C057AP56
, 2C057BA04
, 2C057BA14
引用特許:
出願人引用 (1件)
-
記録ヘッドの製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2000-007152
出願人:セイコーエプソン株式会社
審査官引用 (8件)
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