特許
J-GLOBAL ID：200903059106077444
検査装置および検査方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
古谷 史旺 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-012726
公開番号（公開出願番号）：特開2000-215843
出願日： 1999年01月21日
公開日（公表日）： 2000年08月04日
要約：
【要約】【課題】 ステージの移動方向が如何なる方向であっても、その移動方向に沿って配列された複数の検査領域から連続的に試料の画像情報を取り込むことができる検査装置および検査方法を提供する。【解決手段】 可動ステージ27上の試料28に照射した電子ビームにより、試料28から発生する二次ビームを、所定面に結像させる電子光学系20を有し、該電子光学系20の視野内に位置する試料28からの二次ビームの像を所定面に投影する投影手段22と、電子ビームと二次ビームとの少なくとも一方の軌道を偏向する偏向手段26,36と、所定面に投影された前記像を撮像するイメージセンサ41を有し、該イメージセンサ41からの出力信号に基づいて対応する画像情報を取り込む画像取込手段37と、試料28の移動と偏向手段26,36による軌道の偏向とを同期させて制御する制御手段43とを備えたものである。
請求項（抜粋）：
試料が載置され、移動可能なステージと、前記試料に電子ビームを照射する照射手段と、前記電子ビームの照射によって前記試料から発生する二次ビームを、所定面に結像させる電子光学系を有し、該電子光学系の視野内に位置する試料からの前記二次ビームの像を前記所定面に投影する投影手段と、前記電子ビームと前記二次ビームとの少なくとも一方の軌道を偏向する偏向手段と、前記所定面に投影された前記像を撮像するイメージセンサを有し、該イメージセンサからの出力信号に基づいて対応する画像情報を取り込む画像取込手段と、前記ステージの移動に伴う前記試料の移動と前記偏向手段による前記軌道の偏向とを同期させて制御する制御手段とを備えたことを特徴とする検査装置。
引用特許：
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (9件)
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