特許
J-GLOBAL ID：200903059151101810

研削装置におけるチャックテーブルの洗浄方法および洗浄装置

発明者：
篠山 洋

篠山 洋 について


出願人/特許権者：
株式会社ディスコ

株式会社ディスコ について


代理人 (1件)： 小野 尚純
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-143601
公開番号（公開出願番号）：特開2001-326205
出願日： 2000年05月16日
公開日（公表日）： 2001年11月22日
要約：
【要約】【課題】 洗浄装置が大がかりとならず安価に製作でき、かつ、チャックテーブル洗浄装置を装備していない研削装置に後で取り付ける際にも大がかりな改造を必要としないチャックテーブルの洗浄方法および洗浄装置を提供する。【解決手段】 被加工物を吸引保持するセラミックスで形成された載置面を有するチャックテーブルの載置面に、被加工物搬出手段のセラミックスで形成された吸着パッドの吸着面を接触させ、該接触部に洗浄水を供給しつつ該チャックテーブルの載置面と該吸着パッドの吸着面とを接触させた状態で相対的に摺動せしめる。
請求項（抜粋）：
被加工物を吸引保持するセラミックスで形成された載置面を有するチャックテーブルと、該チャックテーブル上に吸引保持された被加工物を研削する研削手段と、被加工物を吸引保持するセラミックスで形成された吸着面を有する吸着パッドを備え該吸着パッドに該チャックテーブル上の被加工物を吸引保持して搬出する被加工物搬出手段と、を具備する研削装置におけるチャックテーブルの洗浄方法であって、該吸着パッドの吸着面を該チャックテーブルの載置面に接触させ、該接触部に洗浄水を供給しつつ該チャックテーブルの載置面と該吸着パッドの吸着面とを接触させた状態で相対的に摺動せしめる、ことを特徴とする研削装置におけるチャックテーブルの洗浄方法。
IPC (6件)：
H01L 21/304 622 ,  H01L 21/304 631 ,  B08B 1/04 ,  B08B 3/04 ,  B08B 7/04 ,  B24B 55/06
FI (6件)：
H01L 21/304 622 Z ,  H01L 21/304 631 ,  B08B 1/04 ,  B08B 3/04 A ,  B08B 7/04 A ,  B24B 55/06
Fターム (19件)：
3B116AA47 ,  3B116AB34 ,  3B116AB53 ,  3B116BA01 ,  3B116BA13 ,  3B116BB62 ,  3B116BB85 ,  3B201AA47 ,  3B201AB34 ,  3B201AB53 ,  3B201BA01 ,  3B201BA13 ,  3B201BB62 ,  3B201BB85 ,  3B201BB92 ,  3B201CB01 ,  3C047FF08 ,  3C047FF19 ,  3C047HH15
引用特許：
出願人引用 (6件)
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