炭化珪素単結晶およびその製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：矢口平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-368566
公開番号（公開出願番号）：特開2000-191399
出願日： 1998年12月25日
公開日（公表日）： 2000年07月11日
要約：

【要約】【課題】マイクロパイプ等の欠陥の少ない炭化珪素単結晶を成長させるための炭化珪素種結晶を提供すること.【解決手段】炭化珪素単結晶の種結晶の加工に電解インプロセスドレッシング研削法を用いることにより、加工した種結晶への加工傷や、加工歪みを低減させる.

請求項（抜粋）：

種結晶基板上に炭化珪素単結晶を成長させる方法において、種結晶として電解インプロセスドレッシング研削法で加工した炭化珪素結晶を用いる事を特徴とする炭化珪素単結晶の製造方法.

Fターム (6件)：

4G077AA02 , 4G077BE08 , 4G077DA18 , 4G077ED06 , 4G077EE01 , 4G077HA06

引用特許：

出願人引用 (5件)

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審査官引用 (5件)

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引用文献：

出願人引用 (3件)

審査官引用 (3件)

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