特許
J-GLOBAL ID：200903059329169987
フィードフォワード焦点制御を有するリソグラフィ装置およびデバイス製造方法
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
浅村 皓
, 浅村 肇
, 森 徹
, 岩本 行夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-040321
公開番号（公開出願番号）：特開2005-236296
出願日： 2005年02月17日
公開日（公表日）： 2005年09月02日
要約：
【課題】本発明は、改良された焦点制御システムを有するリソグラフィ装置を提供する。【解決手段】リソグラフィ装置は、基板ホルダを位置決めするように構成されたサーボユニットと、基準面に対して基板の表面上にある少なくとも1つの位置ポイントの距離を決定するように構成されたセンサユニットと、基板表面上の対応する少なくとも1つの位置ポイントの個々の距離に基づいて基板の表面情報を記憶するように構成されたメモリユニットと、記憶した表面情報に基づいてフィードフォワード設定ポイント信号を決定するように構成された計算ユニットとを含み、したがってフィードフォワード設定ポイント信号は、基板ホルダを位置決めするためにサーボユニットへと順方向に供給される。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
リソグラフィ装置であって、
放射線のビームを提供するように構成された照明システムと、
放射線の前記ビームの断面に所望のパターンを与えるパターニングデバイスを支持するように構成された第一支持構造と、
基板を保持する基板ホルダを含む第二支持構造と、
放射線の前記パターン形成ビームを、前記基板の表面の目標部分に投影するように構成された投影システムと、
前記基板ホルダを位置決めするように構成されたサーボユニットと、
基準面に対して前記基板の表面にある少なくとも1つの位置ポイントの距離を決定するように構成されたセンサユニットと、
前記基板表面の前記少なくとも1つの位置ポイントに対応する個々の距離に基づいて、前記基板の表面情報を記憶するように構成されたメモリユニットと、
前記記憶された表面情報に基づいて、フィードフォワード設定ポイント信号を決定するように構成された計算ユニットとを有し、
前記フィードフォワード設定ポイント信号が、前記基板ホルダを位置決めするために、前記サーボユニットへと順方向に供給されるリソグラフィ装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (7件)：
5F046CC01
, 5F046CC05
, 5F046CC08
, 5F046DA05
, 5F046DA14
, 5F046DB05
, 5F046DC10
