アライメントシステムおよびそのようなアライメントシステムを備えたリソグラフィ装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：浅村皓 , 浅村肇 , 森徹 , 吉田裕
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-193299
公開番号（公開出願番号）：特開2006-041506
出願日： 2005年07月01日
公開日（公表日）： 2006年02月09日
要約：

【課題】特定の波長(もしくは小帯域波長範囲)のみを有する放射線ソースを用いて、変形したおそれのあるアライメントマーカを使用する場合に、アライメントの質を向上させるアライメントシステムを提供する。【解決手段】基板上のマーカ構造はラインエレメントとトレンチエレメントを含み、ラインエレメントとトレンチエレメントの各々は第一方向に長さを有し、かつ、第一方向に垂直な第二方向にて交互に反復配列して配置され、反復配列はシーケンス長を有し、マーカ構造は少なくとも1つのピッチ値を有し、ラインエレメント及びトレンチエレメントの幅は、マーカ構造のシーケンス長にわたって最少ライン幅値と最大ライン幅値の間で変わる。ラインエレメントおよびその隣接するトレンチエレメントのペアのデューティサイクルはマーカ構造のシーケンス長にわたりほぼ一定とし、ピッチ値はシーケンス長にわたり最少ピッチ値から最大ピッチ値まで変動する。【選択図】図7

請求項（抜粋）：

複数のラインエレメントと複数のトレンチエレメントから成る基板上のマーカ構造において、ラインエレメントとトレンチエレメントの各々は第一方向に長さを有し、かつ、第一方向に垂直な第二方向にて交互に反復配列して配置されており、この交互の反復配列はシーケンス長を有し、マーカ構造は少なくとも1つのピッチ値を有し、この少なくとも1つのピッチ値は1つのラインエレメントのライン幅と1つのトレンチエレメントのトレンチ幅との合計であり、複数のラインエレメントの夫々は、複数のラインエレメントにおいて最少ライン幅と最大ライン幅を有するといったように、異なる幅を有し、また、複数のトレンチエレメントの夫々は、複数のトレンチエレメントにおいて最少トレンチ幅と最大トレンチ幅を有するといったように、異なる幅を有し、ラインとトレンチのそれぞれのペアのデューティサイクルはマーカ構造のシーケンス長にわたってほぼ一定であって、該シーケンス長にわたって最少ピッチ値から最大ピッチ値まで少なくとも1つのピッチの変動があることを特徴とする基板上のマーカ構造。

IPC (3件)：

H01L 21/027 , G01B 11/00 , G03F 7/20

FI (3件)：

H01L21/30 522D , G01B11/00 G , G03F7/20 521

Fターム (21件)：

2F065AA07 , 2F065AA14 , 2F065BB02 , 2F065BB28 , 2F065CC19 , 2F065FF48 , 2F065GG03 , 2F065GG05 , 2F065GG22 , 2F065HH04 , 2F065HH13 , 2F065JJ03 , 2F065JJ26 , 2F065LL41 , 2F065PP12 , 5F046EA10 , 5F046EA12 , 5F046EA13 , 5F046EB01 , 5F046ED01 , 5F046FA02

引用特許：

審査官引用 (8件)

特開昭61-140136
特開昭64-088314
移動体の移動基準位置検出方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-051648 出願人：株式会社リコー, 小林寛, 町田晴彦

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