固体撮像装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：佐藤一雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-026482
公開番号（公開出願番号）：特開2000-223689
出願日： 1999年02月03日
公開日（公表日）： 2000年08月11日
要約：

【要約】【課題】外部光がCCDレジスタ等に入り込まないようにする。【解決手段】本発明の固体撮像装置は、並列配置された画素列1bと、シフト電極2bと、CCDレジスタ3bとを備える。CCDレジスタ3bは、一列に配置された複数の転送電極31,32,33,34を有する。転送電極31の上面には、電荷転送方向に沿って延びる溝状のコンタクトホール9aが形成される。転送電極31は、コンタクトホール9a内の導電材料を介して上層の配線層8と導通している。シフト電極2bの上面にも、シフト電極2bの長手方向に沿って延びる溝状のコンタクトホール7aが形成されている。このコンタクトホール7aを介してシフト電極2bは配線層6に接続される。コンタクトホール7a,9aにより外部光を遮ることができ、CCDレジスタ3bの電荷転送領域等に外部光が入り込まなくなる。

請求項（抜粋）：

各画素に対応する光電変換部を複数一列に配置した画素列と、前記各光電変換部で光電変換された信号電荷を所定の方向に順次転送するCCDレジスタと、を備えた固体撮像装置において、前記CCDレジスタの電荷転送方向近傍に形成される導電層と、前記CCDレジスタの電荷転送方向に沿って帯状に形成され前記導電層に接続されるコンタクトと、を備えることを特徴とする固体撮像装置。

IPC (2件)：

H01L 27/148 , H04N 5/335

FI (2件)：

H01L 27/14 B , H04N 5/335 U

Fターム (26件)：

4M118AA05 , 4M118AB01 , 4M118BA10 , 4M118CA03 , 4M118DB06 , 4M118FA08 , 4M118FA15 , 4M118FA22 , 4M118FA33 , 4M118GB03 , 4M118GB08 , 4M118GB11 , 4M118GB15 , 4M118GB17 , 4M118GC07 , 5C024AA01 , 5C024CA03 , 5C024CA05 , 5C024DA01 , 5C024FA01 , 5C024FA02 , 5C024FA11 , 5C024GA01 , 5C024GA11 , 5C024GA26 , 5C024GA52

引用特許：

審査官引用 (9件)

特開平4-354161
特開平4-354161
半導体装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-170813 出願人：三菱電機株式会社, 三菱電機エンジニアリング株式会社

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