特許
J-GLOBAL ID：200903060298173784
真空蒸着装置の運転方法および真空蒸着装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山野 宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-329969
公開番号（公開出願番号）：特開2007-138193
出願日： 2005年11月15日
公開日（公表日）： 2007年06月07日
要約：
【課題】長尺帯状基材に長手方向における膜厚が均一となるように成膜を行う真空蒸着装置の運転方法および真空蒸着装置を提供する。【解決手段】予め実験おいて、長尺帯状基材10に長手方向における膜厚が均一となるように成膜作業を行い、実験時の成膜作業開始時点からの経過時間とその時間における電源51の出力を測定して得られた時間と出力の関係を記憶装置9に記憶する。以後の長尺帯状基材10への成膜は次のように行う。まず、成膜作業開始前の予備加熱段階は、水晶発振式膜厚計6を用いて、所望の成膜速度で安定するように電源51の出力を制御する。次に、所望の成膜速度になった後、基材搬送装置3を駆動させて長尺帯状基材10への成膜作業を開始する。そして、成膜作業開始後は、記憶装置9により記憶した経過時間の出力と一致させるように電源51の出力を制御することで成膜作業を行う。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
真空チャンバー内で、基材搬送装置により連続走行する長尺帯状基材に、加熱装置により蒸発材料を加熱蒸発させ、当該基材の表面に蒸着させて成膜を行う真空蒸着装置の運転方法であって、
成膜速度や膜厚をモニターすることができる検出手段と、前記基材搬送装置、加熱装置を制御する制御手段と、記憶手段を設けて、
予め実験により、長尺帯状基材に長手方向における膜厚が均一となるように成膜した場合における成膜作業開始時点からの経過時間とその時間における加熱装置の出力を測定して得られた時間と出力の関係を前記記憶手段に記憶しておき、
成膜作業開始前の成膜速度を安定させるための予備加熱段階は、上記検出手段により得られた検出結果に基づいて、所望の成膜速度になるように加熱装置の出力を制御し、
所望の成膜速度になった後、基材搬送装置を駆動させて長尺帯状基材への成膜作業を開始し、
成膜作業開始後は、上記記憶手段により記憶した経過時間の出力と一致させるように加熱装置の出力を制御することで成膜作業を行うことを特徴とする真空蒸着装置の運転方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C23C14/56 A
, C23C14/54 Z
4K029AA02
, 4K029AA11
, 4K029AA25
, 4K029BA03
, 4K029BA05
, 4K029BA35
, 4K029CA01
, 4K029DA12
, 4K029DB03
, 4K029DB06
, 4K029DB21
, 4K029EA01
, 4K029EA09
, 4K029JA10
, 4K029KA03
