光学素子、露光装置、及びデバイス製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：福田充広
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-340188
公開番号（公開出願番号）：特開2008-152037
出願日： 2006年12月18日
公開日（公表日）： 2008年07月03日
要約：

【課題】露光に不要な非露光光のウエハへの到達を抑制し、露光精度を良好に維持できる光学素子、露光装置、及びこれらを用いたデバイスの製造方法を提供すること。【解決手段】光学素子100は、露光光である例えば極端紫外線を反射する多層膜103と、多層膜103の最表層に設けられて光学素子100の反射特性を調整する反射調整層105とを備える。反射調整層105は、光源光に含まれる露光光の反射率と比較して、光源光に含まれる露光光以外の非露光光の反射率が低くなるように、光学素子100の反射特性を調整する。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

支持用の基板と、前記基板上に支持されるとともに、光源光のうち極端紫外線及び軟X線の少なくとも一方を含む露光光を反射する多層膜と、前記光源光に含まれる露光光の反射率と比較して、前記光源光に含まれる前記露光光以外の非露光光の反射率が低くなるように、前記光学素子の反射特性を調整する反射調整層とを備える光学素子。

IPC (4件)：

G02B 5/26 , H01L 21/027 , G03F 7/20 , G21K 1/06

FI (5件)：

G02B5/26 , H01L21/30 531A , G03F7/20 503 , G21K1/06 B , G21K1/06 C

Fターム (10件)：

2H048FA05 , 2H048FA18 , 2H048FA22 , 2H048FA24 , 2H097AA02 , 2H097BB02 , 2H097CA15 , 2H097LA10 , 5F046GB01 , 5F046GB07

引用特許：

出願人引用 (1件)

多層膜反射鏡及び露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-128816 出願人：株式会社ニコン

審査官引用 (5件)

特開平2-019850
露光装置用のミラー、露光装置用の反射型マスク、露光装置及びパターン形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-278489 出願人：松下電器産業株式会社
光学素子、このような光学素子を備えたリソグラフィ装置及びデバイス製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-321406 出願人：エイエスエムエルネザランドズベスローテンフエンノートシャップ

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