特許
J-GLOBAL ID：200903060474780625
大型ペリクルの保護フィルム及び大型ペリクルの収納方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-049200
公開番号（公開出願番号）：特開2008-257208
出願日： 2008年02月29日
公開日（公表日）： 2008年10月23日
要約：
【課題】本発明は、収納・移送・保管時にはトレイに確実な保持固定が可能であり、かつ、フォトマスク等に貼り付ける際には簡単に歪みやたわみを発生させることなく収納容器からペリクルを取り出すことを可能とせしめる保護フィルムを提供することを目的とする。【解決手段】本発明の大型ペリクルの保護フィルム5は、枠体1と、枠体の上縁面に接着されたペリクル膜3と、枠体の下縁面に塗着された粘着材4とからなり、ペリクル膜の面積が1000cm2以上である大型ペリクルAの粘着材を保護するために枠体の下面に粘着された大型ペリクルの保護フィルムであり、保護フィルムは、枠体より外側に突出させた押さえ代を有し、かつ、押さえ代を利用して粘着テープを介して平板上に大型ペリクルを固定した時の押さえ代の単位長さ当りに掛かる荷重が0.42g/mm以下であることを特徴とする。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
枠体と、該枠体の上縁面に接着されたペリクル膜と、前記枠体の下縁面に塗着された粘着材とからなり、前記ペリクル膜の面積が1000cm2以上である大型ペリクルの前記粘着材を保護するために前記枠体の下面に粘着された大型ペリクルの保護フィルムにおいて、
前記保護フィルムは、前記枠体より外側に突出させた押さえ代を有し、かつ、該押さえ代を利用して粘着テープを介して平板上に前記大型ペリクルを固定した時の前記押さえ代の単位長さ当りに掛かる荷重が0.42g/mm以下であることを特徴とする大型ペリクルの保護フィルム。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G03F1/14 J
, H01L21/30 502P
出願人引用 (2件)
審査官引用 (5件)
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