ガスセンサ素子及びその製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：高橋祥泰 , 岩倉民芳 , 高橋祥起
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-302017
公開番号（公開出願番号）：特開2006-112969
出願日： 2004年10月15日
公開日（公表日）： 2006年04月27日
要約：

【課題】被測定ガス側リード部の耐久性に優れたガスセンサ素子及びその製造方法を提供すること。【解決手段】平板状の酸素イオン伝導性の固体電解質体11と、固体電解質体11の先端部における一方の面と他方の面とにそれぞれ設けた被測定ガス側電極121及び基準ガス側電極とを有するガスセンサ素子1。ガスセンサ素子1は、固体電解質体11の基端部に設けた被測定ガス側端子123と被測定ガス側電極121とを電気的に接続する被測定ガス側リード部122を、固体電解質体11の表面に設けてなる。ガスセンサ素子1は、被測定ガスに曝される領域に、被測定ガス側リード部122を覆う絶縁性保護層14を設けてなる。絶縁性保護層14は、CVD又はPVDにより形成した膜である。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

平板状の酸素イオン伝導性の固体電解質体と、該固体電解質体の先端部における一方の面と他方の面とにそれぞれ設けた被測定ガス側電極及び基準ガス側電極とを有するガスセンサ素子において、該ガスセンサ素子は、上記固体電解質体の基端部に設けた被測定ガス側端子と上記被測定ガス側電極とを電気的に接続する被測定ガス側リード部を、上記固体電解質体の表面に設けてなり、上記ガスセンサ素子は、被測定ガスに曝される領域に、上記被測定ガス側リード部を覆う絶縁性保護層を設けてなり、該絶縁性保護層は、CVD又はPVDにより形成した膜であることを特徴とするガスセンサ素子。

IPC (2件)：

G01N 27/41 , G01N 27/409

FI (3件)：

G01N27/46 325H , G01N27/46 325J , G01N27/58 B

Fターム (10件)：

2G004BB04 , 2G004BD04 , 2G004BF02 , 2G004BF03 , 2G004BF05 , 2G004BF08 , 2G004BF09 , 2G004BJ03 , 2G004BM04 , 2G004BM07

引用特許：

出願人引用 (2件)

積層型空燃比センサ素子
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-238794 出願人：株式会社デンソー
特許第2744088号公報

審査官引用 (9件)

限界電流式酸素センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-253339 出願人：矢崎総業株式会社
ヒータ一体型酸素センサ素子
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-102065 出願人：京セラ株式会社
センサの製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-051345 出願人：日本特殊陶業株式会社

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