特許
J-GLOBAL ID：200903060515456412
磁気インピーダンスセンサチップ及びそれを用いた磁気センサ素子
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-317787
公開番号（公開出願番号）：特開2004-150994
出願日： 2002年10月31日
公開日（公表日）： 2004年05月27日
要約：
【課題】磁性体パターンと導体パターンとが、安定に接続され、かつ信頼性の高い、安価な磁気インピーダンスセンサチップ及びそれを用いた磁気センサ素子を提供する。【解決手段】磁性体パターン2ヘの外部磁場の印加によって磁区構造及び磁化分布が磁性体薄膜の透磁率に影響を与えてインピーダンスが変化することを利用し、磁気検出を行う磁気インピーダンスセンサチップであって、磁性体パターン2が細長い長方形が複数並んでおり、端部が非磁性の導体パターン3で接続されており、磁性体パターン2は導体パターン3により直列に接続されており、最初の磁性体パターン2と最後の磁性体パターン2の終端部より非磁性の導体パターン3が電極4まで出ているパターンが平板状の誘電体基板1上に形成された電極4の部分以外は絶縁膜で被覆されており、磁性体パターン2の断面形状は基板に裾野を引いたほぼ台形の形状とする磁気インピーダンスセンサチップとする。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
磁性体パターンヘの外部磁場印加によって磁区構造及び磁化分布が磁性体薄膜の透磁率に影響を与えてインピーダンスが変化することを利用し、磁気検出を行う磁気インピーダンスセンサチップであって、前記磁性体パターンは、平板状の誘電体基板上にほぼ平行に形成された、平行な辺の長い方が前記基板側に配置されたほぼ台形の断面形状を有する複数の帯状であり、非磁性の導体パターンにより直列に接続され、かつ始端と終端が非磁性の導体パターンにより、それぞれ前記誘電体基板に形成された電極に接続され、前記電極以外の部分が絶縁膜で被覆されていることを特徴とする磁気インピーダンスセンサチップ。
IPC (3件)：
G01R33/02
, H01F10/16
, H01F17/00
G01R33/02 D
, H01F10/16
, H01F17/00 B
2G017AA01
, 2G017AC09
, 2G017AD51
, 2G017AD56
, 2G017AD60
, 2G017AD65
, 5E049AA04
, 5E049BA16
, 5E070AA01
, 5E070CB03
, 5E070CB12
