特許
J-GLOBAL ID：200903060662368456

ダイヤモンドライクカーボン硬質多層膜成形体およびその製造方法

発明者：
赤理 孝一郎

赤理 孝一郎 について

, 
太田 安喜俊

太田 安喜俊 について


出願人/特許権者：
株式会社神戸製鋼所

株式会社神戸製鋼所 について


代理人 (4件)： 植木 久一 ,  菅河 忠志 ,  二口 治 ,  伊藤 浩彰
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-257083
公開番号（公開出願番号）：特開2007-070667
出願日： 2005年09月05日
公開日（公表日）： 2007年03月22日
要約：
【課題】 高硬度から低硬度の材料まで広範囲の基材に対し、高硬度のDLC(ダイヤモンドライクカーボン)膜を最表面側に含むDLC多層膜を約3μm以上厚く形成しても、基材およびDLC膜の双方に対して優れた密着性を備えており、耐摩耗性にも優れたDLC成形体を提供する。【解決手段】 基材1と、DLC系膜3と、基材1とDLC系膜3との間の中間層2とからなるDLC硬質多層膜成形体である。DLC系膜3は、基材1側から順に、第1のDLC系膜3aと第2のDLC系膜3bとからなり、第1のDLC系膜3aの表面硬度は、ナノインデンテーション試験で10GPa以上40GPa以下の範囲内にあり、第2のDLC系膜3bの表面硬度は、ナノインデンテーション試験で40GPa超90GPa以下の範囲内にある。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
基材と、ダイヤモンドライクカーボンを主体とするダイヤモンドライクカーボン系膜と、前記基材と前記ダイヤモンドライクカーボン系膜との間の中間層とからなるダイヤモンドライクカーボン硬質多層膜成形体であって、 前記ダイヤモンドライクカーボン系膜は、前記基材側から順に、第1のダイヤモンドライクカーボン系膜と第2のダイヤモンドライクカーボン系膜とからなり、 前記第1のダイヤモンドライクカーボン系膜の表面硬度は、ナノインデンテーション試験で10GPa以上40GPa以下の範囲内にあり、 前記第2のダイヤモンドライクカーボン系膜の表面硬度は、ナノインデンテーション試験で40GPa超90GPa以下の範囲内にあることを特徴とするダイヤモンドライクカーボン硬質多層膜成形体。
IPC (2件)：
C23C 14/06 ,  B23B 27/14
FI (3件)：
C23C14/06 F ,  C23C14/06 N ,  B23B27/14 A
Fターム (26件)：
3C046FF03 ,  3C046FF12 ,  3C046FF13 ,  3C046FF20 ,  4K029AA02 ,  4K029AA04 ,  4K029AA24 ,  4K029BA07 ,  4K029BA11 ,  4K029BA16 ,  4K029BA21 ,  4K029BA34 ,  4K029BA55 ,  4K029BA57 ,  4K029BB02 ,  4K029BC02 ,  4K029BD03 ,  4K029BD05 ,  4K029CA03 ,  4K029CA05 ,  4K029DC02 ,  4K029DC03 ,  4K029DC04 ,  4K029DC43 ,  4K029DD06 ,  4K029FA04
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (3件)

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