特許
J-GLOBAL ID:200903060860694997

発熱抵抗体並びにセラミックヒータ用発熱抵抗体及びそれを用いたセラミックヒータ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 小島 清路
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-141919
公開番号(公開出願番号):特開2000-327426
出願日: 1999年05月21日
公開日(公表日): 2000年11月28日
要約:
【要約】【課題】 粒界の第1相がダイシリケート又はメリライトである窒化珪素質導電性セラミックからなるセラミックヒータ用発熱抵抗体、及びこの発熱抵抗体が基体に埋設されたセラミックヒータを提供する。【解決手段】 特定量のRE2O3を含み、全酸素量からRE2O3に含まれる酸素量を差し引いた残酸素量をSiO2換算した値と、RE2O3とのモル比が所定の範囲にあり、且つ粒界がダイシリケート又はメリライトからなる結晶相を第1相としている発熱抵抗体を得る。この発熱抵抗体には、WC、TiN等、Ti、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Cr、Mo及びWから選ばれる1種以上の元素を含む導電成分が含有されている。また、このセラミックヒータ用発熱抵抗体が基体に埋設されたセラミックヒータを得る。
請求項(抜粋):
導電成分及びRE(但し、REは希土類元素である。)を含む窒化珪素を主体とする発熱抵抗体であって、該希土類元素を酸化物換算(RE2O3)した含有量が1〜6モル%であり、該発熱抵抗体中に含まれる全酸素量から希土類元素を酸化物換算した時の酸素量を差し引いた時の残酸素量を酸化珪素(SiO2)換算した値と前記RE2O3とのモル比(換算値/RE2O3)が1〜5であり、該発熱抵抗体の前記導電成分及び前記窒化珪素を除いた第1相がメリライト(RE2O3・Si3N4)であることを特徴とする発熱抵抗体。
IPC (4件):
C04B 35/584 ,  H05B 3/12 ,  H05B 3/14 ,  H05B 3/18
FI (4件):
C04B 35/58 102 C ,  H05B 3/12 A ,  H05B 3/14 D ,  H05B 3/18
Fターム (30件):
3K092PP13 ,  3K092PP16 ,  3K092QA01 ,  3K092QB13 ,  3K092QB24 ,  3K092QB45 ,  3K092QB62 ,  3K092VV31 ,  3K092VV40 ,  4G001BA03 ,  4G001BA04 ,  4G001BA08 ,  4G001BA09 ,  4G001BA12 ,  4G001BA24 ,  4G001BA32 ,  4G001BB01 ,  4G001BB03 ,  4G001BB04 ,  4G001BB08 ,  4G001BB09 ,  4G001BB12 ,  4G001BB24 ,  4G001BB32 ,  4G001BB73 ,  4G001BC42 ,  4G001BD14 ,  4G001BD22 ,  4G001BE01 ,  4G001BE11
引用特許:
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (10件)
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