特許
J-GLOBAL ID：200903060926633846

光導波路用ミラーの製造方法

発明者：
横沢 雄二

横沢 雄二 について

, 
吉田 慎也

吉田 慎也 について


出願人/特許権者：
シャープ株式会社

シャープ株式会社 について


代理人 (1件)： 野河 信太郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-296539
公開番号（公開出願番号）：特開2005-068459
出願日： 2003年08月20日
公開日（公表日）： 2005年03月17日
要約：
【課題】光の伝搬損失を抑えることが可能な光導波路用ミラーの製造方法を提供すること。【解決手段】光導波路用ミラーの製造方法は、基板上に透光性の樹脂層からなるクラッドを形成し、クラッド内に光導波路として細長いコアを形成し、コアの端部と対向し基板に対して傾斜する傾斜面を形成し、傾斜面に無電解めっき用触媒を付着させ、樹脂層を加熱して化学的に安定させ、得られた基板を無電解めっき液中に浸漬し、前記触媒の作用により前記めっき液中の金属を析出させて傾斜面に金属めっき膜を形成する工程を備える。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
基板上に透光性の樹脂層からなるクラッドを形成し、クラッド内に光導波路として細長いコアを形成し、コアの端部と対向し基板に対して傾斜する傾斜面を形成し、傾斜面に無電解めっき用触媒を付着させ、樹脂層を加熱して化学的に安定させ、得られた基板を無電解めっき液中に浸漬し、前記触媒の作用により前記めっき液中の金属を析出させて傾斜面に金属めっき膜を形成する工程を備える光導波路用ミラーの製造方法。
IPC (7件)：
C23C18/31 ,  C23C18/28 ,  C23C18/52 ,  G02B5/08 ,  G02B5/26 ,  G02B5/28 ,  G02B6/13
FI (8件)：
C23C18/31 A ,  C23C18/28 ,  C23C18/52 B ,  G02B5/08 A ,  G02B5/08 C ,  G02B5/26 ,  G02B5/28 ,  G02B6/12 M
Fターム (42件)：
2H042DA04 ,  2H042DA05 ,  2H042DA07 ,  2H042DA08 ,  2H042DA11 ,  2H042DC03 ,  2H042DC08 ,  2H042DE00 ,  2H047KA04 ,  2H047LA09 ,  2H047PA02 ,  2H047PA21 ,  2H047PA24 ,  2H047QA01 ,  2H047QA05 ,  2H047QA07 ,  2H048FA05 ,  2H048FA22 ,  2H048FA23 ,  2H048FA24 ,  2H048GA32 ,  2H048GA54 ,  2H048GA60 ,  2H048GA62 ,  4K022AA13 ,  4K022AA31 ,  4K022AA41 ,  4K022BA01 ,  4K022BA03 ,  4K022BA08 ,  4K022BA14 ,  4K022BA16 ,  4K022BA35 ,  4K022BA36 ,  4K022CA01 ,  4K022CA05 ,  4K022CA06 ,  4K022CA08 ,  4K022CA12 ,  4K022CA18 ,  4K022CA21 ,  4K022DA01
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (8件)
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