特許
J-GLOBAL ID：200903060985779625
感放射線性樹脂組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大島 正孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-129729
公開番号（公開出願番号）：特開平9-311452
出願日： 1996年05月24日
公開日（公表日）： 1997年12月02日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 各種放射線に有効に感応し、解像度、パターン形状、PED安定性等が良好で、化学増幅型ポジ型レジストとして有用な感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 下記式(1)、(2)および(3)で表される単位からなる共重合体、感放射線性酸発生剤および酸拡散制御剤を含有する組成物。ここで、R1は水素原子またはメチル基を示す、ここで、R2は水素原子あるいはメチル基、R3およびR4は互いに独立に水素原子または炭素数1〜5のアルキル基、R5は炭素数1〜6のアルキレン基または炭素数2〜4のアルキリデン基、R6は炭素数1〜10の鎖状アルキル基等、を示し、nは0〜4の数である、ここで、R7は水素原子またはメチル基を示す、
請求項（抜粋）：
(A)下記式(1)、(2)および(3)で表される繰り返し単位を含有する共重合体、【化1】ここで、R1は水素原子またはメチル基を示す、【化2】ここで、R2は水素原子あるいはメチル基を示し、R3およびR4は互いに独立に水素原子または炭素数1〜5のアルキル基を示し、R5は炭素数1〜6のアルキレン基または炭素数2〜4のアルキリデン基を示し、R6は炭素数1〜10の鎖状アルキル基、炭素数3〜10の環状アルキル基、炭素数6〜10のアリール基、炭素数7〜11のアラルキル基または炭素数1〜10のハロゲン化アルキル基を示し、nは0〜4の数である、【化3】ここで、R7は水素原子またはメチル基を示す、(B)感放射線性酸発生剤、および(C)酸拡散制御剤を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。
IPC (5件)：
G03F 7/039 501
, G03F 7/004 501
, G03F 7/004 503
, G03F 7/033
, H01L 21/027
G03F 7/039 501
, G03F 7/004 501
, G03F 7/004 503
, G03F 7/033
, H01L 21/30 502 R
