振動子の支持構造

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岡田全啓
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-253788
公開番号（公開出願番号）：特開2001-074468
出願日： 1999年09月08日
公開日（公表日）： 2001年03月23日
要約：

【要約】【課題】振動子の振動が漏れにくく、特性劣化が少ない振動子の支持構造を得る。【解決手段】振動子10の屈曲振動の2つのノード点に対応する部分において、電極18a,18bおよび電極20a,20bに支持部材28,30を取り付け、支持部材28を電極22に接続するとともに、支持部材30を電極24に接続する。また、振動子10のノード点に対応する部分において、全面電極26に支持部材32,34を取り付ける。支持部材28,30は第1の支持台36にインサートモールドされたものであり、支持部材32,34は第2の支持台38にインサートモールドされたものである。2つの支持台36,38は、積層して接着されている。

請求項（抜粋）：

柱状の振動子、前記振動子のノード点に対応した部分を支持するための支持部材、および前記支持部材を支持するために前記振動子と間隔を隔てて設けられる支持台を含み、前記支持部材は前記支持台にインサートモールドされたことを特徴とする、振動子の支持構造。

IPC (3件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04 , H01L 41/09

FI (3件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04 , H01L 41/08 J

Fターム (5件)：

2F105BB04 , 2F105BB12 , 2F105CC01 , 2F105CD02 , 2F105CD06

引用特許：

審査官引用 (9件)

振動ジャイロ素子
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-199855 出願人：株式会社村田製作所
圧電トランス装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-041481 出願人：日本電気株式会社
加速度センサ体保持ユニット
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-303655 出願人：ミヨタ株式会社

全件表示

前のページに戻る