有機物蒸着装置

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：渡邊隆 , 志賀正武 , 村山靖彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-233758
公開番号（公開出願番号）：特開2006-063446
出願日： 2005年08月11日
公開日（公表日）： 2006年03月09日
要約：

【課題】本発明は、基板をほぼ垂直に起立した状態で有機物を蒸着して有機薄膜を形成して大型基板に適用可能で、かつ、均一な厚さの有機薄膜を形成することができる有機物蒸着装置を提供するためのものである。【解決手段】本発明の有機物蒸着装置は胴体を成し、基板を地面に対し、70 ゚ないし110 ゚の角度を維持するようにするチャンバと、前記基板上に蒸着する有機物を受け入れる少なくとも一つの有機物格納所からなる有機物格納部と、前記基板上に蒸着する有機物を噴射する有機物噴射ノズル部と、前記有機物噴射ノズル部と有機物格納部とを連結させる連結ラインと、前記有機物格納部、有機物噴射ノズル部及び連結ライン中の少なくとも前記有機物噴射ノズルを垂直方向に移動させることができる移送装置を備えてなる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

胴体を成し、基板を地面に対し、70 ゚ないし110 ゚の角度を維持するようにするチャンバと、前記基板上に蒸着する有機物を受け入れる少なくとも一つの有機物格納所からなる有機物格納部と、前記基板上に蒸着する有機物を噴射する有機物噴射ノズル部と、前記有機物噴射ノズル部と有機物格納部とを連結させる連結ラインと、前記有機物格納部、有機物噴射ノズル部及び連結ラインのうち少なくとも前記有機物噴射ノズルを垂直方向に移動させることができる移送装置と、を備えることを特徴とする有機物蒸着装置。

IPC (1件)：

C23C 14/24

FI (1件)：

C23C14/24 A

Fターム (7件)：

4K029BA62 , 4K029BC07 , 4K029BD00 , 4K029CA01 , 4K029DB06 , 4K029DB12 , 4K029HA01

引用特許：

審査官引用 (7件)

有機膜形成装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-154101 出願人：ソニー株式会社
薄膜堆積用分子線源セルと薄膜堆積方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-044211 出願人：株式会社エイコー・エンジニアリング
蒸着装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-196348 出願人：トッキ株式会社

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