特許
J-GLOBAL ID：200903061423599671

走査型露光装置

発明者：
荒木 康雄

荒木 康雄 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-363553
公開番号（公開出願番号）：特開2005-150759
出願日： 2004年12月15日
公開日（公表日）： 2005年06月09日
要約：
【課題】 マスクの位置ずれを防止できる露光装置を提供すること。 【解決手段】 マスク(12)と基板(16)とを同期して相対移動させることにより、マスク(12)に形成されたパターンを基板(16)に転写する走査型露光装置であって、マスク(12)が載置されるマスク保持部材(18)と、マスク保持部材(18)を移動させるマスクステージ(20)と、マスク保持部材(18)に対してマスク(12)を押し付ける押付け手段(72、88a、88b)とを設けた。 【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
マスクと基板とを同期して相対移動させることにより、前記マスクに形成されたパターンを前記基板に転写する走査型露光装置であって、 前記マスクを載置し、走査方向に移動可能なマスク保持部材と、 前記マスク保持部材に対して前記マスクを押し付ける押付け手段と、を備えたことを特徴とする走査型露光装置。
IPC (3件)：
H01L21/027 ,  G03F7/20 ,  H01L21/68
FI (4件)：
H01L21/30 515F ,  G03F7/20 501 ,  H01L21/68 N ,  H01L21/68 P
Fターム (22件)：
2H097AB03 ,  2H097LA10 ,  5F031CA02 ,  5F031CA07 ,  5F031HA13 ,  5F031HA24 ,  5F031HA27 ,  5F031HA28 ,  5F031HA29 ,  5F031HA53 ,  5F031JA06 ,  5F031JA17 ,  5F031JA28 ,  5F031JA32 ,  5F031JA38 ,  5F031KA06 ,  5F031LA06 ,  5F031MA27 ,  5F031PA30 ,  5F046BA05 ,  5F046CC02 ,  5F046CC09
引用特許：
審査官引用 (8件)
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