反射防止膜、およびそれを用いた光学素子

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松田正道
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-105347
公開番号（公開出願番号）：特開2002-372602
出願日： 2002年04月08日
公開日（公表日）： 2002年12月26日
要約：

【要約】【課題】実用に耐えうる薄膜材料は限られているため、一般に知られている反射防止膜は複数の膜材料や多数層の積層を必要とするものであり、歩留まりが低く、コスト面で負担となっていた。【解決手段】屈折率n0の実質上透明なレンズ10の上に設けられる、屈折率n1、光学的膜厚d1の膜で構成された第1層11と、その第1層11の上に設けられる、光学的膜厚d2のSiO2膜で構成された第2層12とを少なくとも備えた反射防止膜であって、反射防止を行う光の中心波長をλとするとき、n0、n1、d1、d2が、1.42≦n0≦1.53;1.95≦n1≦2.35、0.40λ≦d1≦0.44λ;0.17λ≦d2≦0.18λの条件を満足するように反射防止膜を構成する。これにより、所定波長で反射率0.5%以下を実現するとともに、製造を容易にするとともに歩留まりを向上させる。

請求項（抜粋）：

屈折率n0の実質上透明な基材の上に設けられる、屈折率n1、光学的膜厚d1の膜で構成された第1層と、その第1層の上に設けられる、光学的膜厚d2のSiO2膜で構成された第2層とを少なくとも備えた反射防止膜であって、反射防止を行う光の中心波長をλとするとき、前記n0、前記n1、前記d1、前記d2が、 1.42≦n0≦1.53 1.95≦n1≦2.35、 0.40λ≦d1≦0.44λ 0.17λ≦d2≦0.18λの条件を満足する反射防止膜。

IPC (3件)：

G02B 1/11 , B32B 7/02 103 , C03C 17/34

FI (3件)：

B32B 7/02 103 , C03C 17/34 Z , G02B 1/10 A

Fターム (42件)：

2K009AA05 , 2K009AA06 , 2K009AA07 , 2K009BB02 , 2K009CC03 , 2K009DD03 , 2K009DD09 , 4F100AA06C , 4F100AA06D , 4F100AA06E , 4F100AA11E , 4F100AA17E , 4F100AA20C , 4F100AA20D , 4F100AA20E , 4F100AA21E , 4F100AA27E , 4F100AG00 , 4F100AR00A , 4F100AR00B , 4F100BA02 , 4F100BA03 , 4F100BA04 , 4F100BA05 , 4F100BA07 , 4F100EH66 , 4F100GB51 , 4F100JN01A , 4F100JN18A , 4F100JN18B , 4F100YY00A , 4F100YY00B , 4G059AA11 , 4G059AB11 , 4G059AC04 , 4G059EA04 , 4G059EA05 , 4G059EA09 , 4G059EA10 , 4G059GA02 , 4G059GA04 , 4G059GA12

引用特許：

審査官引用 (8件)

高精度光学部品用反射防止膜
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-114202 出願人：オリンパス光学工業株式会社
反射防止膜
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-147019 出願人：株式会社ニコン
特開平4-181902

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