特許
J-GLOBAL ID:200903062001549457
画像表示装置およびその製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
ポレール特許業務法人
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-169737
公開番号(公開出願番号):特開2008-004590
出願日: 2006年06月20日
公開日(公表日): 2008年01月10日
要約:
【課題】液晶表示装置等のガラス基板上にレーザービームを用いて擬似単結晶膜を形成する際の、半導体膜に生ずる凝集の発生を防止する。【解決手段】一方向に結晶が長く成長したシリコン膜を用いたTFTは機械研磨がされていないガラス基板を用いる。機械研磨が必要な場合でも、TFTを形成する面には機械研磨を施さない。このような構成により、レーザービーム41により、擬似単結晶62を形成するさい、凝集によるスポット状欠陥63、ライン状の凝集64によるライン状の欠陥を防止できる。【選択図】図6
請求項(抜粋):
ガラス基板上に形成された複数の走査線は第1の方向に延在し、前記第1の方向と交差する第2の方向に並設され、複数の信号線は前記第2の方向に延在し、前記第1の方向に並設され、前記複数の走査線のうちの2本と、前記複数の信号線のうちの2本とで囲まれた領域に画素が形成され、前記画素の動作は第1の薄膜トランジスタで制御され、前記画素の集合によって画像形成領域が形成され、前記画像形成領域の外側には前記第1の薄膜トランジスタに信号を印加する第2の薄膜トランジスタを含む走査線駆動回路または信号線駆動回路が形成されており、前記第2の薄膜トランジスタは一方向に結晶が長く成長したシリコン膜を有し、前記ガラス基板の表面のうち、前記薄膜トランジスタが形成された側の表面には機械研磨がなされていないことを特徴とする画像表示装置。
IPC (5件):
H01L 29/786
, H01L 21/336
, H01L 21/20
, G02F 1/136
, H01L 51/50
FI (6件):
H01L29/78 626C
, H01L29/78 612B
, H01L29/78 627G
, H01L21/20
, G02F1/1368
, H05B33/14 A
Fターム (54件):
2H092JA25
, 2H092JA29
, 2H092JA34
, 2H092KA04
, 2H092KA12
, 2H092KA17
, 2H092KB24
, 2H092MA30
, 2H092PA01
, 3K107AA01
, 3K107BB01
, 3K107CC45
, 3K107DD12
, 3K107DD90
, 3K107EE03
, 5F110AA30
, 5F110BB02
, 5F110DD02
, 5F110DD13
, 5F110DD14
, 5F110DD17
, 5F110DD25
, 5F110EE06
, 5F110EE44
, 5F110FF02
, 5F110FF29
, 5F110GG02
, 5F110GG13
, 5F110GG44
, 5F110NN03
, 5F110NN23
, 5F110NN24
, 5F110NN27
, 5F110NN71
, 5F110NN72
, 5F110PP03
, 5F110PP24
, 5F152AA02
, 5F152AA06
, 5F152AA08
, 5F152AA10
, 5F152AA12
, 5F152BB02
, 5F152CC02
, 5F152CD13
, 5F152CD14
, 5F152CE05
, 5F152CE12
, 5F152CE24
, 5F152FF03
, 5F152FF28
, 5F152FG01
, 5F152FG05
, 5F152FH01
引用特許:
出願人引用 (2件)
審査官引用 (6件)
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