熱制御方法及びそのシステム

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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：鮫島睦 , 田村恭生
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-515156
公開番号（公開出願番号）：特表2008-501927
出願日： 2005年05月12日
公開日（公表日）： 2008年01月24日
要約：

プロセスツールの温度を調節するためのシステムおよび方法は、プロセスツールとの直接的な熱交換関係に提供された冷媒の蒸発性の特性を利用する。与圧された冷媒は凝縮された液体の状態と気体の状態の両者として提供される。凝縮させた液体は膨張させられて蒸気を含む混合物とされ、その圧力によって決められる目標温度に達するように、気体状の冷媒が添加される。従って、気体圧力調節によって、温度修正を非常に急速に行うことができる。プロセスツールと操作パラメータは、通常、戻される冷媒がコンプレッサーおよび他の装置に適合するように処理および調節されることを必要として、熱の要求および変化にかかわらず、循環を連続的に行うことができる。

請求項（抜粋）：

蒸発可能な流体を用いて熱負荷の温度を制御する方法であって; 蒸発可能な流体を気体から高温高圧の気体状態へ圧縮する工程; 高圧の気体の少なくとも一部を加圧された液体の状態へ凝縮させる工程; より低い温度及び圧力にて、加圧された流体の少なくとも一部を飽和蒸気へ膨張させる工程; 高温高圧の気体と膨張した飽和蒸気とを選択された割合にて混合して、選択された圧力での飽和した蒸気ミストを提供する工程; 前記混合流を熱負荷を通して流れさせ、その温度を制御する工程; 前記混合流の圧力を調節することによって、熱負荷の温度を調節する工程;並びに熱負荷からの流れを再加圧に好適な気体へ戻す工程を含んでなる方法。

IPC (1件)：

F25B 1/00

FI (6件)：

F25B1/00 101H , F25B1/00 321B , F25B1/00 331Z , F25B1/00 311E , F25B1/00 391 , F25B1/00 389Z

引用特許：

審査官引用 (11件)

冷凍装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-360615 出願人：三菱重工業株式会社
蒸気圧縮式冷凍機
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-180151 出願人：株式会社デンソー
特開平2-089959

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