特許
J-GLOBAL ID：200903062115345800
静電容量式センサ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
三好 秀和
, 伊藤 正和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-141063
公開番号（公開出願番号）：特開2008-292426
出願日： 2007年05月28日
公開日（公表日）： 2008年12月04日
要約：
【課題】精度よく物理量を検出する。【解決手段】物理量の変位に応じて動作する可動電極5と、可動電極5と相互に間隙を介して対向配置される固定電極6とを備え、可動電極5と固定電極6の対向面積の大きさに応じて検出される静電容量に基づき物理量を検出することで実現する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
物理量の変位に応じて動作する可動電極と、
前記可動電極と相互に間隙を介して対向配置される固定電極とを備え、
前記可動電極と前記固定電極の対向面積の大きさに応じて検出される静電容量に基づき前記物理量を検出すること
を特徴とする静電容量式センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01P15/125 Z
, H01L29/84 Z
4M112AA02
, 4M112BA07
, 4M112CA21
, 4M112CA24
, 4M112CA31
, 4M112CA33
, 4M112EA13
, 4M112FA20
出願人引用 (1件)
-
半導体力学量センサ
公報種別：公開公報
出願番号：特願2000-324178
出願人：株式会社デンソー
審査官引用 (5件)
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