特許

J-GLOBAL ID：200903062484495247

電界放出型電子銃およびそれを用いた電子線応用装置

発明者： 藤枝 正 ,  岡井 誠 ,  日高 貴志夫 ,  林原 光男
出願人/特許権者： 株式会社日立ハイテクノロジーズ
代理人 (2件)： 井上 学 ,  戸田 裕二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-191533
公開番号（公開出願番号）：特開2009-026710
出願日： 2007年07月24日
公開日（公表日）： 2009年02月05日
要約：

【課題】本発明の課題は、加熱フラッシングに耐え得る繊維状炭素物質と導電性基材との接合部の耐熱性を有する電界放出型電子銃およびそれを用いた電子線応用装置を提供することにある。【解決手段】繊維状炭素物質と、前記繊維状炭素物質を支持する導電性基材と、前記繊維状炭素物質を加熱できる加熱装置と、前記繊維状炭素物質より電子を電界放出させる引出装置と、前記電子を加速する加速装置とを有する電界放出型電子銃において、繊維状炭素物質と導電性基材との接触部分の一部に、炭化物または固溶体を形成する高融点物質である第一の導電性被覆層を形成し、さらに、導電性被覆層と、繊維状炭素物質と導電性基材との接触部分と、繊維状炭素物質の先端部分を除く、前記導電性基材からの突出部分を取囲むように、炭素から構成される第二の被覆層を設けることにある。更には、本発明の電界放出型電子銃を各種電子線応用装置に適用することである。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

繊維状炭素物質と、前記繊維状炭素物質を支持する導電性基材と、前記繊維状炭素物質を加熱する加熱装置と、前記繊維状炭素物質より電子を電界放出させる引出装置と、前記繊維状炭素物質より放出された電子を加速させる加速装置とを有する電界放出型電子銃であって、 前記繊維状炭素物質は前記導電性基材に被覆層により固定されており、前記被覆層は、少なくとも前記繊維状炭素物質と前記導電性基材との接触部分に設けられ、導電性を有する金属よりなる第一の被覆層と、前記第一の被覆層を覆って設けられ、炭素を含有する物質よりなる第二の被覆層とを有し、 前記第二の被覆層は、前記繊維状炭素物質の前記導電性基材からの突出部分の周囲に設けられており、前記繊維状炭素物質の電子放出部位は被覆層を形成されず露出していることを特徴とする電界放出型電子銃。

IPC (2件)：

H01J 1/304 ,  H01J 37/073

FI (2件)：

H01J1/30 F ,  H01J37/073

Fターム (8件)：

5C030CC02 ,  5C030CC08 ,  5C135AA10 ,  5C135AA13 ,  5C135AA15 ,  5C135AB07 ,  5C135AB08 ,  5C135HH20

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 電界放射電子源およびこれを用いた顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-334998   出願人：株式会社島津製作所, 大阪府
• 電界放射電子源およびこれを用いた電子銃
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-205075   出願人：株式会社島津製作所, 大阪府

審査官引用 (4件)

• 導電性針の製造方法及びその方法により製造された導電性針
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-292126   出願人：株式会社日立製作所
• 導電性走査型顕微鏡用プローブ及びこれを用いた加工方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-403559   出願人：中山喜萬, 大研化学工業株式会社, セイコーインスツルメンツ株式会社
• 電子源およびそれを用いた電子ビーム装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-108675   出願人：株式会社日立製作所
• 電界放射電子源
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-197660   出願人：株式会社島津製作所, 大阪府