特許
J-GLOBAL ID：200903026957674130

導電性針の製造方法及びその方法により製造された導電性針

発明者：
藤枝 正

藤枝 正 について

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日高 貴志夫

日高 貴志夫 について

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林原 光男

林原 光男 について

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堀内 寿晃

堀内 寿晃 について

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鈴木 修一

鈴木 修一 について

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沼田 義道

沼田 義道 について


出願人/特許権者：
株式会社日立製作所

株式会社日立製作所 について


代理人 (1件)： 吉岡 宏嗣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-292126
公開番号（公開出願番号）：特開2005-063802
出願日： 2003年08月12日
公開日（公表日）： 2005年03月10日
要約：
【課題】 優れた電子放出性能を有する導電性針を提供する。【解決手段】 導電性基材の先端部表面に存在する酸化膜を除去する工程S1と、該酸化膜が除去された部位にカーボンナノチューブの一端部を接触させる工程S2と、前記導電性基材と前記カーボンナノチューブとの接触部位の少なくとも一部を導電性材料により被覆する工程S3とを有する製造方法により、カーボンナノチューブと導電性基体との接触抵抗を低減して、電子放出性能を向上させる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
導電性基材の先端部表面に存在する酸化膜を除去する工程と、 該酸化膜が除去された部位にカーボンナノチューブの一端部を接触させる工程と、 前記導電性基材と前記カーボンナノチューブとの接触部位の少なくとも一部を導電性材料により被覆する工程とを有する導電性針の製造方法。
IPC (6件)：
H01J9/02 ,  G01N13/12 ,  G01N13/16 ,  G12B21/04 ,  H01J1/304 ,  H01J37/073
FI (6件)：
H01J9/02 B ,  G01N13/12 D ,  G01N13/16 C ,  H01J37/073 ,  H01J1/30 F ,  G12B1/00 601B
Fターム (31件)：
5C030CC02 ,  5C127AA04 ,  5C127AA05 ,  5C127AA20 ,  5C127BA10 ,  5C127BA15 ,  5C127BB07 ,  5C127CC03 ,  5C127CC10 ,  5C127DD08 ,  5C127DD38 ,  5C127DD39 ,  5C127DD62 ,  5C127DD66 ,  5C127DD70 ,  5C127DD72 ,  5C127DD76 ,  5C127DD90 ,  5C127DD93 ,  5C127EE02 ,  5C127EE12 ,  5C127EE16 ,  5C135AA10 ,  5C135AA15 ,  5C135AC03 ,  5C135AC05 ,  5C135AC28 ,  5C135GG16 ,  5C135HH02 ,  5C135HH12 ,  5C135HH16
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (6件)
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