特許
J-GLOBAL ID：200903062536278878
ウェハダイシングテープ用基材
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三枝 英二 (外8名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-235982
公開番号（公開出願番号）：特開2003-158098
出願日： 2002年08月13日
公開日（公表日）： 2003年05月30日
要約：
【要約】【課題】ダイシング時の糸状屑の発生を防止でき、エキスパンド時の均一拡張性及び復元性に優れ、エキスパンドリングとの滑り性に優れたウェハダイシングテープ用基材及びウェハダイシングテープを提供する。【解決手段】粘着剤塗布層、中間層及びエキスパンドリング接触層をこの順に積層してなるウェハダイシングテープ用基材。
請求項（抜粋）：
下記の粘着剤塗布層、中間層及びエキスパンドリング接触層をこの順に積層してなるウェハダイシングテープ用基材:粘着剤塗布層:メタクリル酸含量が5重量%以上のエチレンメタクリル酸共重合体(EMAA)、メチルメタクリレート含量が5重量%以上のエチレンメチルメタクリレート共重合体(EMMA)、アクリル酸含量が5重量%以上のアクリル酸エチレン共重合体(EAA)、アクリル酸エチル含量が5重量%以上のアクリル酸エチルエチレン共重合体(EEA)またはアクリル酸メチル含量が5重量%以上のアクリル酸メチルエチレン共重合体(EMA)、及びこれら共重合体を金属イオンにより架橋したアイオノマー樹脂からなる群より選ばれた少なくとも1種を含む層中間層:(i)プロピレン成分及び/又はブテン-1成分の含有率が50重量%以上の非晶質のポリオレフィンを30〜100重量%と、結晶性ポリオレフィン70〜0重量%とを含有してなる樹脂組成物層又は(ii)スチレン-ブタジエン共重合体、スチレン-イソプレン共重合体、エチレンプロピレンラバーからなる群より選ばれたいずれか1以上を30〜100重量%と、結晶性ポリオレフィン70〜0重量%とを含有してなる樹脂組成物層;又は(iii)(i)及び(ii)の樹脂組成物の混合組成物層又は(iv)(i)層、(ii)層、(iii)層からなる群より選ばれた2以上の積層エキスパンドリング接触層:ポリエチレン(LDPE、LLDPE)、メタクリル酸含有量が10重量%以下のエチレンメタクリル酸共重合体(EMAA)及びメチルメタクリレート含量が10重量%以下のエチレンメチルメタクリレート共重合体(EMMA)、アクリル酸含量が10重量%以下のアクリル酸エチレン共重合体(EAA)、アクリル酸エチル含量が10重量%以下のアクリル酸エチルエチレン共重合体(EEA)またはアクリル酸メチル含量が10重量%以下のアクリル酸メチルエチレン共重合体(EMA)及びこれら共重合体を金属イオンにより架橋したアイオノマー樹脂からなる群より選ばれる少なくとも1種を含む層。
IPC (5件)：
H01L 21/301
, C09J 4/02
, C09J 7/02
, C09J123/08
, C09J133/00
C09J 4/02
, C09J 7/02 Z
, C09J123/08
, C09J133/00
, H01L 21/78 M
4J004AA10
, 4J004AB07
, 4J004CA03
, 4J004CC02
, 4J004CC03
, 4J004CC04
, 4J004FA05
, 4J004FA08
, 4J040DF001
, 4J040JA09
, 4J040JB09
, 4J040MB03
, 4J040NA20
, 4J040PA23
, 4J040PA32
