カーボンオニオン薄膜およびその製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小谷悦司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-294996
公開番号（公開出願番号）：特開2002-105623
出願日： 2000年09月27日
公開日（公表日）： 2002年04月10日
要約：

【要約】【課題】オニオン構造を有する巨大フラーレンクラスターで構成されたカーボンオニオン薄膜を提供する。【解決手段】炭素を主成分とし、膜厚が少なくとも20nm以上であり、オニオン構造のクラスターを有するカーボンオニオン薄膜である。具体的には、上記要件を満たし、且つ、?@0.001μm2中に、オニオン構造を有する直径が少なくとも4nm以上のクラスターを、少なくとも20個以上含有するか、または?Aマトリックス中に占める、オニオン構造を有するクラスターの比率が少なくとも50体積%以上であるカーボンオニオン薄膜である。

請求項（抜粋）：

炭素を主成分とし、膜厚が少なくとも20nm以上であり、オニオン構造のクラスターを有することを特徴とするカーボンオニオン薄膜。

IPC (3件)：

C23C 14/06 , C01B 31/02 101 , C23C 14/35

FI (3件)：

C23C 14/06 F , C01B 31/02 101 F , C23C 14/35 C

Fターム (15件)：

4G046CB03 , 4G046CB08 , 4G046CC06 , 4K029AA06 , 4K029AA24 , 4K029BA02 , 4K029BA03 , 4K029BA33 , 4K029BA34 , 4K029BB07 , 4K029CA05 , 4K029DC40 , 4K029DC43 , 4K029EA01 , 4K029EA06

引用特許：

審査官引用 (7件)

フラーレン含有構造体およびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-069426 出願人：科学技術振興事業団, 田中俊一郎
フラーレンおよびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-126643 出願人：新技術事業団, 田中俊一郎
超微粒子内包フラーレンおよびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-021718 出願人：新技術事業団, 田中俊一郎

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引用文献：

審査官引用 (2件)

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