ガス濃度検出装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：伊藤求馬
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-038004
公開番号（公開出願番号）：特開2004-245772
出願日： 2003年02月17日
公開日（公表日）： 2004年09月02日
要約：

【課題】電極材の違いによる出力ずれを抑制し、排ガス中のNOx等、被測定ガス中の特定ガス成分の検出を精度よく行うことのできるガス濃度検出装置を提供する。【解決手段】NOxセンサ101のセンサ素子104は、素子内に導入されるNOxおよび残留酸素を分解するセンサセル150と、残留酸素のみを分解するモニタセル160を有し、センサセル150とモニタセル160の電流出力差からNOx濃度を検出する。センサ素子104の先端部を保護する素子カバー103に、複数の側面穴106aと少なくとも1つの底穴106bを設け、これら穴径をそれぞれφ0.5〜1.5mmとするとともに、側面穴径/底面穴径を0.5〜1.5として、素子カバー103内の流速変動を抑制し、センサセル150とモニタセル160の出力脈動を抑制してNOx出力を安定させる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

チャンバ内に導入される被測定ガス中の特定ガス成分濃度を検出するためのセンサセルと、上記チャンバ内の酸素濃度を検出するためのモニタセルを有するセンサ素子を備え、被測定ガス存在空間に位置する上記センサ素子の外周囲を保護する素子カバーを設けたガス濃度検出装置において、上記素子カバーが有底筒状体で、被測定ガスが流通する複数の側面穴および少なくとも1つの底穴を有しており、上記側面穴および上記底穴の径をそれぞれφ0.5〜1.5mmの範囲とするとともに、これらの径の比率(側面穴径/底面穴径)を0.5〜1.5の範囲としたことを特徴とするガス濃度検出装置。

IPC (5件)：

G01N27/416 , F02D35/00 , G01N27/409 , G01N27/41 , G01N27/419

FI (10件)：

G01N27/46 331 , F02D35/00 368D , G01N27/46 327E , G01N27/46 327C , G01N27/46 327G , G01N27/58 B , G01N27/46 327R , G01N27/46 325D , G01N27/46 325E , G01N27/46 325G

Fターム (19件)：

2G004BB04 , 2G004BC02 , 2G004BC07 , 2G004BC09 , 2G004BD04 , 2G004BD17 , 2G004BE04 , 2G004BE22 , 2G004BE23 , 2G004BF05 , 2G004BF18 , 2G004BF27 , 2G004BG05 , 2G004BG13 , 2G004BJ03 , 2G004BL08 , 2G004BL11 , 2G004BL19 , 2G004BM04

引用特許：

審査官引用 (6件)

ガスセンサ素子
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-076443 出願人：株式会社デンソー, 株式会社日本自動車部品総合研究所
成膜方法および成膜装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-170741 出願人：花王株式会社
ガス濃度検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-181874 出願人：株式会社デンソー

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