特許
J-GLOBAL ID:200903063617607570

樹脂板製造用鋳型の製造方法及び樹脂板の製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 鈴木 喜三郎 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-125125
公開番号(公開出願番号):特開平11-316980
出願日: 1998年05月07日
公開日(公表日): 1999年11月16日
要約:
【要約】【課題】 表面に形成される所望の凹凸パターンの寸法精度を向上し、正しい原信号を復元可能な樹脂板を製造できる鋳型の製造方法を提供する。この鋳型を用い、正しい原信号を復元可能な信頼性の高い樹脂板を製造する方法を提供する。【解決手段】 基板1の表面を選択的に酸化し、基板1の表面に所望の凹凸パターンに対応した酸化層2を形成し、酸化層2をマスクとして基板1をエッチングし、表面に所定の凹凸パターンが形成された原盤20を得る。または、形成した酸化層2を基板1から除去し、基板1の表面に所定の凹凸パターンを形成する。その後、原盤20の凹凸面に導電化層3を介して金属層4を電鋳により形成し、基板1から金属層4及び導電化層3を剥離して金属原盤30を得る。
請求項(抜粋):
基板の表面に形成された凹凸パターンを樹脂板に転写するための樹脂板製造用鋳型の製造方法であって、前記基板の表面を選択的に酸化し、当該基板の表面に前記凹凸パターンに対応した酸化層を形成する酸化工程を備えた樹脂板製造用鋳型の製造方法。
引用特許:
出願人引用 (8件)
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