半導体圧力検出装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-162164
公開番号（公開出願番号）：特開平11-014479
出願日： 1997年06月19日
公開日（公表日）： 1999年01月22日
要約：

【要約】【課題】二重ダイヤフラム構造や、液体が流通できる貫通孔を開けた金属ボディや蓋等を必要とせず、従来のものに比べ大幅なコスト低減が可能である半導体圧力検出装置を提供すること。【解決手段】プリント基板15上に実装され、検出部とパッド部がシールされた半導体圧力センサチップ位置と対応する位置に開口部を設けたケース19に部品が装着されたプリント基板15を収め、ケース19外部のオイル23(圧力測定対象物)が半導体圧力センサのダイヤフラム部2に直接接する構成とした。

請求項（抜粋）：

プリント基板上実装され、検出部とパッド部がシールされた半導体圧力センサチップの位置と対応する位置に開口部を設けたケースに部品が装着されたプリント基板を収め、ケース外部の圧力測定対象物(液体)が半導体圧力センサのダイヤフラム部に直接接することを特徴とする半導体圧力検出装置。

引用特許：

出願人引用 (10件)

圧力変換器
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-149313 出願人：テルモ株式会社
特開昭64-027274
半導体圧力センサの自己診断方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-108590 出願人：株式会社日立製作所, 株式会社日立カーエンジニアリング

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審査官引用 (2件)

圧力変換器
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-149313 出願人：テルモ株式会社
特開昭64-027274

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