特許
J-GLOBAL ID:200903064032839790
固体撮像装置およびカメラ
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
新居 広守
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2007-009428
公開番号(公開出願番号):特開2008-177362
出願日: 2007年01月18日
公開日(公表日): 2008年07月31日
要約:
【課題】カラーフィルタとして多層膜干渉フィルタを用いた場合において、平坦化膜やバリア膜による干渉の影響を低減し、さらに、平坦化膜の膜厚ばらつきによる分光特性のばらつきを抑制し得るカラーフィルタを備える固体撮像装置を提供する。【解決手段】入射光35のうち所定の色の光を透過させるカラーフィルタ29と平坦化膜28、30とバリア膜26、32を備える単位画素(1a、1b、1c)が2次元状に配列された固体撮像装置101であって、前記カラーフィルタ29は高屈折率材料および低屈折率材料からなるλ/4膜からなり、前記バリア膜26、32の光学膜厚は、λ/2に略等しい。【選択図】図3
請求項(抜粋):
設定波長をλとする多層膜構造のカラーフィルタ及びバリア膜を備える単位画素が2次元状に配列された固体撮像装置であって、
前記カラーフィルタは、高屈折率材料又は低屈折率材料から構成され、その光学膜厚がλ/4に略等しく、
前記バリア膜の光学膜厚がλ/2に略等しい
ことを特徴とする固体撮像装置。
IPC (6件):
H01L 27/14
, H04N 5/335
, H04N 9/07
, G02B 5/20
, G02B 5/28
, G03B 11/00
FI (6件):
H01L27/14 D
, H04N5/335 U
, H04N9/07 D
, G02B5/20 101
, G02B5/28
, G03B11/00
Fターム (29件):
2H048BA03
, 2H048BA11
, 2H048BB02
, 2H048BB07
, 2H048BB24
, 2H048BB26
, 2H048BB28
, 2H048BB47
, 2H083AA02
, 2H083AA19
, 2H083AA26
, 4M118BA09
, 4M118CA03
, 4M118CA32
, 4M118GC07
, 4M118GC17
, 4M118GC20
, 4M118GD04
, 4M118GD07
, 5C024AX01
, 5C024CY47
, 5C024DX01
, 5C024EX51
, 5C024GX03
, 5C024GX12
, 5C065BB30
, 5C065BB42
, 5C065CC01
, 5C065EE03
引用特許: