特許
J-GLOBAL ID:200903053358468731
固体撮像素子、カメラモジュール及び電子機器モジュール
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
角田 芳末
, 磯山 弘信
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-081234
公開番号(公開出願番号):特開2005-268643
出願日: 2004年03月19日
公開日(公表日): 2005年09月29日
要約:
【課題】 固体撮像素子における反射防止効率を向上して光電変換効率の向上を図る。【解決手段】 半導体基板に光電変換部と、該光電変換部の信号電荷を読み出す手段が設けられた固体撮像素子、好ましくは裏面照射型固体撮像素子において、光照射面56に半導体基板32と屈折率を異にした2層膜による反射防止膜41、あるいは膜厚方向で屈折率分布を有する1層膜による反射防止膜を形成して成る。【選択図】 図2
請求項(抜粋):
半導体基板に光電変換部と、該光電変換部の信号電荷を読み出す手段が設けられ、光照射面に前記半導体基板と屈折率を異にした2層膜による反射防止膜が形成されている
ことを特徴とする固体撮像素子。
IPC (2件):
FI (2件):
H01L27/14 A
, H04N5/335 U
Fターム (23件):
4M118AA01
, 4M118AB01
, 4M118BA14
, 4M118CA03
, 4M118CA04
, 4M118CA32
, 4M118CA34
, 4M118FA06
, 4M118FA33
, 4M118GA02
, 4M118GC07
, 4M118GD03
, 4M118GD04
, 5C024AX01
, 5C024CX35
, 5C024CX41
, 5C024CY47
, 5C024EX24
, 5C024EX43
, 5C024GX03
, 5C024GX24
, 5C024GY01
, 5C024GY31
引用特許:
出願人引用 (1件)
審査官引用 (11件)
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