特許
J-GLOBAL ID：200903064418794546
半導体検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井上 学
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-331297
公開番号（公開出願番号）：特開2008-145208
出願日： 2006年12月08日
公開日（公表日）： 2008年06月26日
要約：
【課題】 耐久性が高く、正確な診断の可能な半導体検査装置を提供する。【解決手段】 複数の探針と、被検体を観察する走査型,透過型等の電子顕微鏡を有し、探針を被検体に接触させて半導体装置等の微小部の電気測定を行う半導体検査装置であって、探針は、少なくとも基体と、基体に固定されたカーボンナノチューブと、金属伝導性の表面膜とを有し、表面膜は炭素と結合する第一の金属層と、導電性の高い第二の金属層からなる。第一の金属層の例として、Ti,Cr,Mo,Nb,Ta、もしくはSn、第二の金属層の例として、金,パラジウム,イリジウム,プラチナが挙げられる。カーボンナノチューブを用いることにより塑性変形を防止するとともに、探針の導通をとりやすくし、半導体装置の性能を向上させるものである。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
探針と、前記探針を駆動する探針駆動装置と、前記探針に電圧を印加し、通電させる電源と、前記探針に流れる電流を計測する計測器と、を有する半導体検査装置であって、
被検体または前記探針を観察する電子顕微鏡を有し、
前記探針は、カーボンナノチューブと、前記カーボンナノチューブを固定する金属性の基体とを有し、前記カーボンナノチューブは炭素との化合物を形成する金属からなる第一の金属層と、金,パラジウム,イリジウム,プラチナからなる表面層とを有することを特徴とする半導体検査装置。
IPC (3件)：
G01R 1/067
, G01R 31/26
, G01R 31/28
G01R1/067 A
, G01R31/26 J
, G01R31/28 K
2G003AG03
, 2G003AH05
, 2G003AH07
, 2G011AA03
, 2G011AA21
, 2G011AB08
, 2G011AC14
, 2G011AC21
, 2G011AE03
, 2G132AA00
, 2G132AD15
, 2G132AE22
, 2G132AF01
, 2G132AF06
, 2G132AF07
, 2G132AL03
出願人引用 (1件)
審査官引用 (6件)
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