特許
J-GLOBAL ID：200903029632983216

微小領域の物性評価方法及びそれに用いる走査型プローブ顕微鏡

発明者：
長田 崇

長田 崇 について

, 
田中 修平

田中 修平 について


出願人/特許権者：
旭テクノグラス株式会社

旭テクノグラス株式会社 について

, 
日本板硝子株式会社

日本板硝子株式会社 について


代理人 (1件)： 須山 佐一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-074221
公開番号（公開出願番号）：特開2005-265435
出願日： 2004年03月16日
公開日（公表日）： 2005年09月29日
要約：
【課題】固体表面における微小領域の物性の評価方法およびそれに用いる走査型プローブ顕微鏡を提供することを目的とする。また評価対象は良導体に限ることなく、酸化物などの高抵抗率の物質であっても評価できるようにすることを目的とする。【解決手段】走査型プローブ顕微鏡を使用し、導電性を有する探針を試料表面に接触させ、試料と探針との間にバイアス電圧を印加し、試料の表面における探針の先端が接触する位置またはその近傍に光を照射し、試料と探針との間に流れる電流を検出し、検出した結果を用い物性を評価する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
走査型プローブ顕微鏡を使用した微小領域の物性評価方法であって、導電性を有する探針を試料の表面に接触させ、前記試料と前記探針との間にバイアス電圧を印加し、前記試料の表面の前記探針の先端が接触する位置またはその近傍に光を照射し、前記試料と前記探針との間に流れる電流を検出する各操作を備えていることを特徴とする微小領域の物性評価方法。
IPC (1件)：
G01N13/12
FI (2件)：
G01N13/12 A ,  G01N13/12 B
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (4件)
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