走査型トンネル顕微鏡の探針及びその製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：伊藤求馬 , 糟谷敬彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-280672
公開番号（公開出願番号）：特開2005-049186
出願日： 2003年07月28日
公開日（公表日）： 2005年02月24日
要約：

【課題】走査型トンネル顕微鏡に使用する先端が極めて先鋭でかつ強度の大きい探針とその製造方法を提供する。【解決手段】走査型トンネル顕微鏡の探針10において、探針10はタングステン等の金属で形成され、探針10の先端表面12は炭化コーティング膜等のバッファー層を有し、探針10の先端表面12の炭化コーティング膜等のバッファー層からカーボンナノチューブ13が延設されている走査型トンネル顕微鏡の探針10とその製造方法である。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

走査型トンネル顕微鏡の探針において、該探針は金属で形成され、上記探針の先端にカーボンナノチューブを成長させたことを特徴とする走査型トンネル顕微鏡の探針。

IPC (3件)：

G01N13/12 , C01B31/02 , G12B21/04

FI (3件)：

G01N13/12 D , C01B31/02 101F , G12B1/00 601B

Fターム (12件)：

4G146AA11 , 4G146AB07 , 4G146AD29 , 4G146BA12 , 4G146BB23 , 4G146BC08 , 4G146BC17 , 4G146BC23 , 4G146BC33A , 4G146DA03 , 4G146DA17 , 4G146DA26

引用特許：

出願人引用 (1件)

特開平2-245602号公報(第4-5頁、第2図)

審査官引用 (9件)

炭素ナノチューブの合成方法及び炭素ナノチューブの合成装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-226015 出願人：株式会社日進ナノテック, 浦項工科大学校
カーボン・ナノチューブ作成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-379334 出願人：株式会社東北テクノアーチ
カーボンナノチューブの製法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-008461 出願人：キヤノン株式会社

全件表示

引用文献：

審査官引用 (4件)

全件表示

前のページに戻る