特許
J-GLOBAL ID：200903008939251487

プローブ作製方法および装置並びにこれをもちいた不良検査装置

発明者：
古川 貴司

古川 貴司 について

, 
渡辺 修

渡辺 修 について


出願人/特許権者：
株式会社日立ハイテクノロジーズ

株式会社日立ハイテクノロジーズ について


代理人 (1件)： 井上 学
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-121837
公開番号（公開出願番号）：特開2006-300687
出願日： 2005年04月20日
公開日（公表日）： 2006年11月02日
要約：
【課題】電気特性評価用のプローブを備えた不良検査装置において,上記不良検査装置の探針として好適な形状を有するプローブと,これを安定して再現性よく製造しうるプローブの製造方法,および上記プローブを搭載した不良検査装置を提供する。【解決手段】先端直径が触針する対象であるプラグサイズと同程度でかつ,頂点角度が20度以上の探針を形成し,さらに基材と,基材に固定された探針とを有するプローブの製造方法であって,探針先端の頂点角度と先端直径とを独立に研磨できる3段階の電界研磨工程とにより上記条件を満たすプローブを製造し,上記プローブを不良検査装置に搭載する。【効果】上記不良検査装置を用いてプローブを触針する際,プローブの繰り返し接触に対して充分な機械強度を有するプローブおよび上記プローブの製造方法および上記プローブを搭載した不良検査装置が提供でき装置ユーザの使い勝手が向上する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
基材と、前記基材に固定された探針とを有する探針ユニットの製造方法であって、電解研磨と上記電界研磨中に電解液中で上記探針先端を上下移動させることにより前記基材に固定された探針母材の先端を研磨する電解研磨工程を有することを特徴とする探針ユニットの製造方法。
IPC (2件)：
G01R 1/067 ,  G01R 31/26
FI (3件)：
G01R1/067 A ,  G01R1/067 Z ,  G01R31/26 J
Fターム (7件)：
2G003AA07 ,  2G003AG03 ,  2G003AH04 ,  2G003AH10 ,  2G011AA02 ,  2G011AC06 ,  2G011AE03
引用特許：
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (3件)

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