特許
J-GLOBAL ID：200903064499165866
窒化珪素焼結体及びその製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡邉 一平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-108937
公開番号（公開出願番号）：特開2001-064080
出願日： 2000年04月11日
公開日（公表日）： 2001年03月13日
要約：
【要約】【課題】 熱伝導率が高く、かつ、高温における電気絶縁性に優れた窒化珪素焼結体及びその製造方法を提供する。【解決手段】 窒化珪素粉末と、Mg化合物と、焼結助剤とを含む成形原料を成形し、窒素雰囲気下において1800〜2000°Cで焼成する、窒化珪素焼結体の製造方法である。成形原料を、酸化物換算で0.3〜10重量%のMgを含むように調製し、かつ、1400〜1700°Cの温度範囲において、0.5時間以上、一定温度に保持した後、焼成温度まで昇温する。
請求項（抜粋）：
窒化珪素結晶粒及び粒界相からなり、酸化物換算で0.3〜10重量%のMgを含む焼結体であって、当該焼結体の熱伝導率が60W/mK以上、125°Cにおける電気抵抗率が1E+13Ωcm以上であることを特徴とする窒化珪素焼結体。
Fターム (30件)：
4G001BA06
, 4G001BA08
, 4G001BA09
, 4G001BA12
, 4G001BA14
, 4G001BA24
, 4G001BA32
, 4G001BA63
, 4G001BA71
, 4G001BA73
, 4G001BB06
, 4G001BB08
, 4G001BB09
, 4G001BB12
, 4G001BB14
, 4G001BB24
, 4G001BB32
, 4G001BB63
, 4G001BB71
, 4G001BB73
, 4G001BC52
, 4G001BC54
, 4G001BC55
, 4G001BC57
, 4G001BD03
, 4G001BD14
, 4G001BD16
, 4G001BD21
, 4G001BD23
, 4G001BE03
