特許
J-GLOBAL ID：200903065113041030
強誘電体キャパシタ及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
吉武 賢次 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-177512
公開番号（公開出願番号）：特開2002-043539
出願日： 1998年06月26日
公開日（公表日）： 2002年02月08日
要約：
【要約】【課題】 強誘電体キャパシタの信頼性の向上を図る。【解決手段】 上部電極14Aを形成するのに酸化膜マスク16Aを用い、上部電極14A形成後もこの酸化膜マスク16Aをそのまま残存させる。また、下部電極10A及び強誘電体膜12Aを形成するのに酸化膜マスク22A及びフォトレジストマスク24を用い、下部電極10A形成後もこの酸化膜マスク22Aをそのまま残存させる。これにより、下部電極10Aと上部電極14Aとが残さによりショートするのを防止し、強誘電体キャパシタの信頼性の向上を図ることができる。
請求項（抜粋）：
下部電極用マスクを用いて下部電極用薄膜をエッチングすることにより、形成された下部電極と、前記下部電極用マスクを用いて強誘電体用薄膜をエッチングすることにより、前記下部電極上に形成された、強誘電体膜と、上部電極用マスクを用いて上部電極用薄膜をエッチングすることにより、前記強誘電体膜上の一部に形成された、上部電極と、を備えることを特徴とする強誘電体キャパシタ。
FI (2件)：
H01L 27/10 444 B
, H01L 27/10 444 C
5F083FR01
, 5F083FR02
, 5F083GA11
, 5F083GA25
, 5F083GA28
, 5F083JA02
, 5F083JA15
, 5F083JA17
, 5F083JA35
, 5F083JA36
, 5F083JA38
, 5F083JA39
, 5F083JA40
, 5F083JA43
, 5F083MA06
, 5F083MA17
, 5F083NA01
, 5F083NA08
, 5F083PR39
, 5F083PR40
