特許
J-GLOBAL ID：200903065167068731
フォ-カスモニタ方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松山 允之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-330184
公開番号（公開出願番号）：特開2006-140375
出願日： 2004年11月15日
公開日（公表日）： 2006年06月01日
要約：
【課題】最適フォ-カスからのズレ量およびズレ方向(符号)を簡易かつ高精度に測定する。【解決手段】 ウェハ内に最適フォ-カスから一定量ΔDFデフォ-カスさせたショットを設け、そのショットでフォ-カスモニタマ-クの寸法を計測する。その測定値ΔLとデフォ-カスさせたショットのデフォ-カス方向をもとにデフォ-カスショットのフォ-カス位置Fを算出する。そして、入力したデフォ-カス値ΔDFとフォ-カス位置Fの差、すなわちF-ΔDFをウェハの最適フォ-カスからのズレ量およびズレ方向とする。【選択図】 図8
請求項（抜粋）：
フォトリソグラフィ-により、フォ-カスモニタマ-クを含むレチクルパタ-ンをウェハ上に転写する際の、最適フォーカス位置でウェハ上に転写したショットの実際のフォーカス位置の、前記最適フォ-カス位置からのズレ量をモニタする方法であって、
ウェハ上に転写された前記フォ-カスモニタマ-クの寸法とフォ-カス位置の関係を示す較正2次関数曲線を作成する第1のステップと、
少なくともウェハ上の1ショットを、前記第1のステップにおける較正2次関数曲線が極値を取るフォ-カス位置から一定量デフォ-カスしたフォ-カス位置で、ウェハ上に転写する第2のステップと、
前記デフォ-カスしたフォ-カス位置でウェハ上に転写したショットのフォ-カスモニタマ-クの寸法を計測する第3のステップと、
前記第1のステップにおける較正2次関数曲線と前記計測した寸法を用いて、前記第2のステップにおけるデフォーカスしたフォーカス位置でウェハ上に転写したショットの実際のフォ-カス位置を算出するに際し、前記デフォ-カスしたフォ-カス位置が、前記較正2次関数曲線が極値を取るフォ-カス位置よりも小さい時には、前記較正2次関数曲線の解の小さい方を前記デフォーカスしたフォーカス位置でウェハ上に転写したショットの実際のフォ-カス位置とし、大きい時には解の大きい方を前記デフォーカスしたフォーカス位置でウェハ上に転写したショットの実際のフォ-カス位置とすることによって、前記デフォーカスしたフォーカス位置でウェハ上に転写したショットの実際のフォ-カス位置を算出する第4のステップとを備え、
前記算出したデフォーカスしたフォーカス位置でウェハ上に転写したショットの実際のフォ-カス位置から、前記デフォ-カスしたフォ-カス位置を減ずることにより、前記最適フォーカス位置でウェハ上に転写したショットの実際のフォーカス位置の、最適フォ-カス位置からのズレ量とズレ方向を求めることを特徴とするフォ-カスモニタ方法。
IPC (3件)：
H01L 21/027
, G01B 11/00
, G03F 9/02
H01L21/30 526Z
, G01B11/00 C
, G03F9/02 H
2F065AA03
, 2F065AA20
, 2F065BB02
, 2F065BB28
, 2F065CC17
, 2F065CC19
, 2F065DD03
, 2F065FF04
, 2F065JJ03
, 2F065JJ26
, 2F065QQ31
, 5F046AA25
, 5F046BA03
, 5F046DA02
, 5F046DA14
, 5F046DD03
, 5F046DD06
出願人引用 (1件)
審査官引用 (6件)
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