特許
J-GLOBAL ID：200903065245427930

表面電位分布測定方法及び表面電位分布測定装置

発明者：
須原 浩之

須原 浩之 について


出願人/特許権者：
株式会社リコー

株式会社リコー について


代理人 (1件)： 立石 篤司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-167679
公開番号（公開出願番号）：特開2006-344436
出願日： 2005年06月08日
公開日（公表日）： 2006年12月21日
要約：
【課題】物体の表面電位分布を精度良く測定する。【解決手段】試料表面を荷電粒子ビームで走査し、試料の表面における電位情報を取得する(ステップ501〜521)。そして、その取得結果に基づいて、適切な電荷又は電位の分布モデルを決定し、その決定された分布モデルに応じて荷電粒子ビームの軌道を計算し、該計算結果に基づいて試料の表面電位の分布状態を求める(ステップ523〜535)。これにより、これまでほとんど考慮されていなかったビームの曲がりなどを含む荷電粒子ビームの挙動が、正しく反映されることとなる。【選択図】図6
請求項（抜粋）：
荷電粒子ビームを用いて物体の表面電位の分布状態を測定する表面電位分布測定方法であって、 物体表面を前記荷電粒子ビームで走査し、該物体表面の2次元面内の複数の計測点における電位情報をそれぞれ取得する工程と; 前記取得結果に応じた前記荷電粒子ビームの軌道を算出する工程と;を含む表面電位分布測定方法。
IPC (3件)：
H01J 37/28 ,  G01R 29/12 ,  G01R 31/302
FI (3件)：
H01J37/28 B ,  G01R29/12 Z ,  G01R31/28 L
Fターム (10件)：
2G132AA00 ,  2G132AD01 ,  2G132AE22 ,  2G132AF06 ,  2G132AF13 ,  2G132AL00 ,  5C033UU04 ,  5C033UU05 ,  5C033UU08 ,  5C033UU10
引用特許：
出願人引用 (12件)
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審査官引用 (12件)
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