能動制振装置、露光装置及びデバイス製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大塚康徳 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-118003
公開番号（公開出願番号）：特開2003-314610
出願日： 2002年04月19日
公開日（公表日）： 2003年11月06日
要約：

【要約】【課題】ステージ、カウンターマスを単独、もしくは独立に駆動した場合に生じる励振を制振する。【解決手段】除振台上に搭載されたステージ及びカウンターマスの駆動による振動を制振する能動制振装置は、ステージ及びカウンターマスを搭載する除振台と、除振台を支持し、除振台の姿勢を制御するための除振台制御部と、ステージおよび/またはカウンターマスを駆動制御の対象として選択し、選択された対象に応じた制御モードを設定する設定部と、設定された制御モードに従い、選択された対象を駆動制御するための制御目標値を除振台制御部に入力させる制御入力切替部と、を備える。

請求項（抜粋）：

除振台上に搭載されたステージ及びカウンターマスの駆動による振動を制振する能動制振装置であって、前記ステージ及びカウンターマスを搭載する除振台と、前記除振台を支持し、該除振台の姿勢を制御するための除振台制御部と、前記ステージおよび/またはカウンターマスを駆動制御の対象として選択し、該選択された対象に応じた制御モードを設定する設定手段と、前記設定手段により設定された制御モードに従い、前記選択された対象を駆動制御するための制御目標値を、前記除振台制御部に入力させる制御入力切替手段と、を備えることを特徴とする能動制振装置。

IPC (3件)：

F16F 15/02 , G03F 7/20 521 , H01L 21/027

FI (3件)：

F16F 15/02 A , G03F 7/20 521 , H01L 21/30 503 F

Fターム (9件)：

3J048AA02 , 3J048AB11 , 3J048BC02 , 3J048BE02 , 3J048BE10 , 3J048CB23 , 3J048DA01 , 5F046AA23 , 5F046CC20

引用特許：

審査官引用 (9件)

アクティブ除振装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-199751 出願人：株式会社日立製作所
特開平3-125048
特開平3-125048

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