特許
J-GLOBAL ID：200903065929000960
感光性樹脂組成物フィルムおよびそれを用いたレジスト形成方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-108650
公開番号（公開出願番号）：特開2009-258471
出願日： 2008年04月18日
公開日（公表日）： 2009年11月05日
要約：
【課題】Bステージ状態のフィルムにタックがなく作業性に優れ、凹凸への追従性が良好で、フォトリソグラフィーにより容易に高解像度のパターンを形成し、優れた耐熱性を有する膜を形成することができる感光性樹脂組成物フィルムを提供すること。【解決手段】支持体上に形成される感光性樹脂組成物フィルムであって、該感光性樹脂組成物フィルムが、(a)主鎖末端に、カルボキシル基、フェノール性水酸基、スルホン酸基およびチオール基からなる群より選ばれる少なくとも一つの基を有するポリイミド、(b1)一般式(1)で表される不飽和結合含有重合性化合物、(c)常温で固形であるエポキシ基を有する化合物および(d)光重合開始剤を含有しており、(a)のポリイミド100重量部に対し(b1)の化合物の含有量が5〜150重量部、(c)の化合物の含有量が5〜70重量部である感光性樹脂組成物フィルム。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
支持体上に形成される感光性樹脂組成物フィルムであって、該感光性樹脂組成物フィルムが、(a)主鎖末端に、カルボキシル基、フェノール性水酸基、スルホン酸基およびチオール基からなる群より選ばれる少なくとも一つの基を有するポリイミド、(b1)一般式(1)で表される不飽和結合含有重合性化合物、(c)常温で固形であるエポキシ基を有する化合物および(d)光重合開始剤を含有しており、(a)のポリイミド100重量部に対し(b1)の化合物の含有量が5〜150重量部、(c)の化合物の含有量が5〜70重量部である感光性樹脂組成物フィルム。
IPC (5件)：
G03F 7/004
, G03F 7/037
, G03F 7/027
, H05K 3/28
, C08G 73/10
G03F7/004 512
, G03F7/037 501
, G03F7/027
, G03F7/004 501
, H05K3/28 D
, H05K3/28 F
, C08G73/10
2H025AA02
, 2H025AA10
, 2H025AA15
, 2H025AB11
, 2H025AB15
, 2H025AB16
, 2H025AC01
, 2H025AD01
, 2H025BC13
, 2H025BC43
, 2H025CA07
, 2H025CB25
, 2H025CC17
, 2H025EA08
, 2H025FA17
, 4J043PA02
, 4J043PA04
, 4J043QB26
, 4J043RA34
, 4J043SA06
, 4J043SB01
, 4J043TA22
, 4J043TB01
, 4J043UA131
, 4J043UA141
, 4J043UA151
, 4J043UA152
, 4J043UB221
, 4J043UB231
, 4J043UB232
, 4J043VA011
, 4J043VA012
, 4J043VA051
, 4J043VA052
, 4J043XA03
, 4J043XA16
, 4J043ZA12
, 4J043ZB11
, 4J043ZB47
, 5E314AA27
, 5E314AA36
, 5E314BB02
, 5E314CC15
, 5E314DD07
, 5E314EE03
, 5E314GG08
, 5E314GG24
