特許
J-GLOBAL ID:200903066070821970

マルチスポット型面発光レーザおよびその駆動方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 片寄 恭三 ,  片山 修平
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-119161
公開番号(公開出願番号):特開2006-302981
出願日: 2005年04月18日
公開日(公表日): 2006年11月02日
要約:
【課題】 光軸ズレを生じないようにレーザの発光点を切替えることができるマルチスポット型の面発光型半導体レーザを提供する。【解決手段】 VCSEL1は、基板上に、第1組のメサ10、12、14、16と、第2組のメサ20、22、24、26を含み、第1組および第2組のメサは、基板上の基準点Cに関し回転対称に配置されている。第1組のメサ10〜16は、配線層18によって相互に接続され、かつ電極パッド40に接続される。第2組のメサ20〜26は、配線層28によって相互に接続され、かつ電極パッド42に接続される。第1組のメサ10〜16と第2組のメサ20〜26は、それぞれ独立に駆動可能である。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
基板上に、第1導電型の第1の半導体ミラー層、第1の半導体ミラー層上の電流狭窄層、第1の半導体ミラー層上の活性領域、活性領域上の第2導電型の第2の半導体ミラー層、第2の半導体ミラー層上の複数の出射開口部、複数の出射開口部へ電流を注入する配線層を含み、複数の出射開口部からレーザ光を出射可能な面発光型半導体レーザであって、 複数の出射開口部の各々は、基板上の基準点から等しい距離に位置し、 配線層は、少なくとも第1の配線層と第2の配線層を含み、第1の配線層は、複数の出射開口部の中から選択された第1組の出射開口部に電流を注入し、第2の配線層は、複数の出射開口部の中から選択された第2組の出射開口部に電流を注入する、面発光型半導体レーザ
IPC (3件):
H01S 5/062 ,  H01S 5/183 ,  H01S 5/42
FI (3件):
H01S5/062 ,  H01S5/183 ,  H01S5/42
Fターム (19件):
5F173AC03 ,  5F173AC13 ,  5F173AC35 ,  5F173AC42 ,  5F173AC52 ,  5F173AD03 ,  5F173AH02 ,  5F173AR52 ,  5F173AR59 ,  5F173SA04 ,  5F173SA06 ,  5F173SA33 ,  5F173SC02 ,  5F173SC05 ,  5F173SC07 ,  5F173SE02 ,  5F173SF40 ,  5F173SF43 ,  5F173SG05
引用特許:
出願人引用 (1件)
  • 半導体装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平4-027826   出願人:株式会社日立製作所
審査官引用 (7件)
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