改善された研磨パッドの製造方法

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-020194
公開番号（公開出願番号）：特開2006-233199
出願日： 2006年01月30日
公開日（公表日）： 2006年09月07日
要約：

【課題】強度、伸度などの機械特性が均一な相互侵入高分子網目構造体およびその製造方法を提供する。また、研磨時の面内均一性に優れ、連続研磨において研磨レートの低下の小さく、パッド寿命が改良された研磨パッドおよびその製造方法を提供する。【解決手段】エチレン性不飽和化合物、ラジカル重合開始剤、からなるラジカル重合性組成物に高分子成形体を浸漬させる工程、およびラジカル重合性組成物を含浸させた高分子成形体の膨潤状態下においてエチレン性不飽和化合物を重合させる工程、を包含する相互侵入高分子網目構造体の製造方法であって、ラジカル重合性組成物に高分子成形体を浸漬させる工程の前に、ラジカル重合禁止剤を、該ラジカル重合性組成物および/または該高分子成形体に添加する相互侵入高分子網目構造体の製造方法により得られることを特徴とする相互侵入高分子網目構造体およびその製造方法。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

エチレン性不飽和化合物、ラジカル重合開始剤、からなるラジカル重合性組成物に高分子成形体を浸漬させる工程、およびラジカル重合性組成物を含浸させた高分子成形体の膨潤状態下においてエチレン性不飽和化合物を重合させる工程、を包含する相互侵入高分子網目構造体の製造方法であって、ラジカル重合性組成物に高分子成形体を浸漬させる工程の前に、ラジカル重合禁止剤を、該ラジカル重合性組成物および/または該高分子成形体に添加する、相互侵入高分子網目構造体の製造方法により得られることを特徴とする相互侵入高分子網目構造体。

IPC (6件)：

C08L 57/00 , B24B 37/00 , H01L 21/304 , C08L 101/00 , C08F 2/00 , C08J 9/42

FI (6件)：

C08L57/00 , B24B37/00 C , H01L21/304 622F , C08L101/00 , C08F2/00 C , C08J9/42

Fターム (46件)：

3C058AA07 , 3C058AA09 , 3C058CA01 , 3C058CA06 , 3C058CB01 , 3C058CB05 , 3C058DA17 , 4F074AA48 , 4F074AA80 , 4F074AA98 , 4F074CE15 , 4F074CE17 , 4F074CE56 , 4F074CE98 , 4F074DA02 , 4F074DA03 , 4F074DA12 , 4F074DA56 , 4J002BG04X , 4J002BG05X , 4J002BG06X , 4J002BG07X , 4J002CK03W , 4J002CK04W , 4J002CK05W , 4J002GQ00 , 4J002GT00 , 4J011CA01 , 4J011CB02 , 4J011CC02 , 4J011NA13 , 4J011NA15 , 4J011NA18 , 4J011NA20 , 4J011NA26 , 4J011NA35 , 4J011NB03 , 4J011PA16 , 4J011PA29 , 4J011PA33 , 4J011PA36 , 4J011PA40 , 4J011PA45 , 4J011PA95 , 4J011PB07 , 4J011PC02

引用特許：

出願人引用 (2件)

国際公開第00/122621号パンフレット
研磨パッドの製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-025752 出願人：東レ株式会社

審査官引用 (5件)

研磨パッド
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-162375 出願人：東レ株式会社
研磨パッド
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-181708 出願人：東レ株式会社
研磨性能を高め寿命を延ばす研磨パッド担体
公報種別：公表公報出願番号：特願2004-536072 出願人：サイロクエストインコーポレーテッド

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