特許
J-GLOBAL ID：200903066404815578

ペリクル収納容器

発明者：
関原 一敏

関原 一敏 について


出願人/特許権者：
信越化学工業株式会社

信越化学工業株式会社 について


代理人 (3件)： 荒井 鐘司 ,  河野 尚孝 ,  嶋崎 英一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-115604
公開番号（公開出願番号）：特開2007-286483
出願日： 2006年04月19日
公開日（公表日）： 2007年11月01日
要約：
【課題】 ペリクルからセパレートを安全・確実に分離できるペリクル収納容器を提供する。【解決手段】 セパレータの外周に複数の貫通孔を有する突出した領域を設け、該貫通孔に該貫通孔よりも大径の部分を有する固定具を挿入してペリクル収納容器トレイにセパレータを固定することを特徴とする。 該セパレータ固定手段とは別の手段によりペリクルをペリクル収納容器トレイに固定すること、該別の手段は、ペリクルフレームの側面に設けられた複数の非貫通の孔に挿入されたピンによりペリクル収納容器のトレイに固定されること、ペリクル収納容器へのセパレータの固定具が脱着可能であること、セパレータの固定具は磁力によりペリクル収納容器に吸着固定されるものであること、ペリクル収納容器へのセパレータの固定具のうち、少なくとも1箇所はペリクルフレームのコーナー部から50mm以内に設けられていることがそれぞれ好ましい。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
セパレータの外周に複数の貫通孔を有する突出した領域を設け、該貫通孔に該貫通孔よりも大径の部分を有する固定具を挿入してペリクル収納容器トレイにセパレータを固定することを特徴とするペリクル収納容器。
IPC (3件)：
G03F 1/14 ,  H01L 21/027 ,  B65D 85/38
FI (3件)：
G03F1/14 K ,  H01L21/30 502P ,  B65D85/38 Z
Fターム (21件)：
2H095BA02 ,  2H095BC36 ,  2H095BC37 ,  2H095BC38 ,  2H095BC39 ,  3E096AA01 ,  3E096BA20 ,  3E096BA30 ,  3E096BB03 ,  3E096CA02 ,  3E096CA06 ,  3E096CB03 ,  3E096DA25 ,  3E096DB06 ,  3E096DB07 ,  3E096FA09 ,  3E096FA10 ,  3E096FA15 ,  3E096FA16 ,  3E096FA27 ,  3E096GA04
引用特許：
出願人引用 (5件)
  • 特開昭58-219023号公報
  • 米国特許第4861402号明細書
  • 特公昭63-27707号公報
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審査官引用 (9件)
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