偏向器およびその製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (2件)：伊東哲也 , 齋藤和則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-194774
公開番号（公開出願番号）：特開2006-019438
出願日： 2004年06月30日
公開日（公表日）： 2006年01月19日
要約：

【課題】信頼性の高いブランキングアパーチャアレイを生産性良好に提供する。【解決手段】略同一形状の二対の電極に偏向用電圧を印加する配線が各電極に接続されている。配線の接続は、隣り合う電極に同一の配線が接続する。二つの電極へ接続された一つの配線のうち、いずれかの電極に不良が存在する場合に、いずれか一方の配線が補償回路となり、ブランキングアパーチャアレイの歩留まりが向上する。【選択図】図5

請求項（抜粋）：

荷電粒子線を偏向する偏向器であって、基板に形成された貫通孔と、第1の方向で2つの電極が互いに対向するように該貫通孔の側壁に設置された第1の電極対と、前記第1の方向とは略直交する第2の方向で2つの電極が互いに対向するように該貫通孔の側壁に設置された第2の電極対とを有し、該第1および第2の電極対を構成する4つの電極は略同一形状であることを特徴とする偏向器。

IPC (4件)：

H01L 21/027 , G03F 7/20 , H01J 37/09 , H01J 37/147

FI (5件)：

H01L21/30 541B , G03F7/20 521 , H01J37/09 A , H01J37/147 C , H01J37/147 D

Fターム (4件)：

5C033BB03 , 5C033GG02 , 5F056AA07 , 5F056EA03

引用特許：

出願人引用 (2件)

実公昭56-19402号公報
特開平7-2970107号公報

審査官引用 (6件)

荷電粒子ビーム制御装置、及びそれを用いた荷電粒子ビーム光学装置、荷電粒子ビーム欠陥検査装置、並びに荷電粒子ビーム制御方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-210862 出願人：株式会社荏原製作所, 株式会社ニコン
荷電粒子ビーム露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-282962 出願人：株式会社アドバンテスト
荷電粒子線装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-087801 出願人：株式会社日立製作所

全件表示

前のページに戻る