ITO膜およびその製造方法ならびに有機EL素子

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：伊東忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-165847
公開番号（公開出願番号）：特開2004-014287
出願日： 2002年06月06日
公開日（公表日）： 2004年01月15日
要約：

【課題】良好な水蒸気透過防止性を有するITO膜およびその製造方法ならびにITO膜を備えた有機EL素子を提供する。【解決手段】有機EL素子10は、基板12、陽極電極14、および陽極電極14上に順次成膜される素子本体、陰極電極で構成される。基板12は、樹脂基板あるいは樹脂フィルムである。陽極電極14は、ITO膜である。陽極電極14は、基板12の上に形成された第1層22および第1層22の上に形成された第2層20からなる2層構造を有する。第1層22は、結晶性の低い構造を有する層であり、一方、第2層20は、結晶性の高い構造を有する層である。【選択図】図5

請求項（抜粋）：

結晶性の高い構造の層と結晶性の低い構造の層とを含むことを特徴とするITO膜。

IPC (5件)：

H01B5/14 , C23C14/08 , H01B13/00 , H05B33/14 , H05B33/28

FI (5件)：

H01B5/14 A , C23C14/08 D , H01B13/00 503B , H05B33/14 A , H05B33/28

Fターム (22件)：

3K007AB05 , 3K007AB13 , 3K007CB01 , 3K007DB03 , 3K007FA01 , 4K029AA11 , 4K029AA24 , 4K029BA45 , 4K029BA50 , 4K029BC09 , 4K029BD00 , 4K029CA04 , 4K029CA06 , 4K029CA13 , 4K029DB08 , 4K029DB15 , 4K029EA08 , 4K029EA09 , 5G307FB01 , 5G307FC04 , 5G323BA02 , 5G323BB05

引用特許：

審査官引用 (12件)

透明導電膜およびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-209193 出願人：大日本印刷株式会社
透明導電膜及びその作製方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-299859 出願人：シャープ株式会社
特開平3-261005

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