特許
J-GLOBAL ID：200903066951168650
投影光学系及び投影露光装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
田辺 恵基
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-129153
公開番号（公開出願番号）：特開平9-293676
出願日： 1996年04月24日
公開日（公表日）： 1997年11月11日
要約：
【要約】【課題】解像度の高い露光を行い得る簡易な構成の投影光学系及び投影露光装置を実現し難かつた。【解決手段】マスクから出射した照明光束を反射する第1の反射面と、その出射光束を集光する集光光学系と、その出射光束を被露光基板上に垂直に入射するように反射する第2の反射面と、第1及び/又は第2の反射面を照明光束の光路長を変化させる方向に移動させる移動手段とを設けるようにしたことにより、解像度の高い露光を行い得る簡易な構成の投影光学系を実現できる。また投影露光装置を、この投影光学系と、被露光基板の感光面と垂直な方向における被露光基板の感光面の高さを検出する高さ検出手段で構成するようにしたことにより、解像度の高い露光を行い得る簡易な構成の投影露光装置を実現できる。
請求項（抜粋）：
マスク及び被露光基板間に配置され、照明光学系から前記マスクに照射される照明光束を前記被露光基板の感光面上に集光する投影光学系において、前記マスクから出射した前記照明光束を反射する第1の反射面と、前記第1の反射面から出射した前記照明光束を集光する集光光学系と、前記集光光学系から出射した前記照明光束を、前記被露光基板上に垂直に入射するように反射する第2の反射面と、前記第1の反射面及び/又は第2の反射面を前記照明光束の光路長を変化させる方向に移動させる移動手段とを具えることを特徴とする投影光学系。
IPC (2件)：
H01L 21/027
, G03F 7/20 521
H01L 21/30 515 D
, G03F 7/20 521
, H01L 21/30 516 A
, H01L 21/30 526 A
