流体圧アクチュエータ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：後藤洋介 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-031072
公開番号（公開出願番号）：特開2002-235707
出願日： 2001年02月07日
公開日（公表日）： 2002年08月23日
要約：

【要約】【課題】モータを使用せず、しかも可動部の軽量化の可能な流体圧アクチュエータを提供する。【解決手段】アクチュエータ10は、ガイド軸11とこれに沿って移動可能なスライダ12とを含む。本アクチュエータは、ガイド軸の周囲とスライダとの間に圧力室を形成すると共に、該圧力室を軸方向に関して2つのシリンダ室16a、16bに区画する隔壁13をスライダに設け、2つに区画されたシリンダ室にそれぞれ、ガイド軸内に設けられた通路11-1を通して圧縮空気を出入り可能にすることにより構成される。特に、スライダはチタンで作られる。

請求項（抜粋）：

一軸方向に延びるガイド軸とこれに沿って移動可能なスライダとを含むアクチュエータにおいて、該アクチュエータは、前記ガイド軸の周囲と前記スライダとの間に圧力室を形成すると共に、該圧力室を軸方向に関して2つのシリンダ室に区画する隔壁を前記スライダ、前記ガイド軸の一方に設け、2つに区画されたシリンダ室にそれぞれ、前記ガイド軸内に設けられた供給/排出通路を通して圧縮流体を出入り可能にすることにより構成され、前記スライダの材料をチタンとしたことを特徴とする流体圧アクチュエータ。

IPC (3件)：

F15B 15/14 340 , F15B 15/14 355 , F15B 15/14 380

FI (3件)：

F15B 15/14 340 Z , F15B 15/14 355 A , F15B 15/14 380 B

Fターム (6件)：

3H081BB01 , 3H081BB03 , 3H081CC23 , 3H081DD27 , 3H081DD32 , 3H081HH10

引用特許：

出願人引用 (8件)

特開平1-035108
移動テーブル装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-009779 出願人：株式会社日立製作所
特開昭62-002553

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審査官引用 (10件)

直線往復動装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-196863 出願人：株式会社コガネイ
移動テーブル装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-009779 出願人：株式会社日立製作所
特開平1-035108

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